| 第一章 绪论 | 第1-9页 |
| 第二章 实验 | 第9-20页 |
| 2．1 实验原理 | 第9-14页 |
| 2．1．1 PLD基本原理 | 第9-11页 |
| 2．1．2 直流辉光放电简介 | 第11-14页 |
| 2．2 实验方法、装置及工艺参数 | 第14-18页 |
| 2．3 实验检测技术 | 第18-20页 |
| 第三章 实验结果和讨论 | 第20-54页 |
| 3．1 低气压下制备氮化碳薄膜 | 第20-28页 |
| 3．1．1 RPLD制备碳氮薄膜 | 第20-26页 |
| 3．1．2 PE-RPLD制备碳氮薄膜 | 第26-28页 |
| 3．2 高气压下制备氮化碳薄膜 | 第28-52页 |
| 3．2．1 典型实验条件下制备的碳氮薄膜的性质 | 第29-36页 |
| 3．2．2 高气压下碳氮薄膜生长条件研究 | 第36-52页 |
| 3．3 氮化碳薄膜的生长机理分析 | 第52-54页 |
| 第四章 结束语 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |