| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-12页 |
| ·研究意义 | 第7-8页 |
| ·纳米SiC 材料发光特性研究进展 | 第8-9页 |
| ·纳米SiC 光生载流子衰减特性研究进展 | 第9-10页 |
| ·所做工作及意义 | 第10-12页 |
| 第2章 实验原理及特性检测方法 | 第12-18页 |
| ·固体材料的光吸收及载流子复合机理 | 第12-13页 |
| ·实验检测技术 | 第13-15页 |
| ·光致发光技术（PL） | 第15-16页 |
| ·微波吸收实验技术 | 第16-18页 |
| 第3章 纳米SiC 薄膜的结构特性及微波吸收谱分析 | 第18-27页 |
| ·纳米及微晶碳化硅薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·薄膜的键合结构、组分及形貌特性 | 第19-21页 |
| ·光生载流子衰减特征分析 | 第21-25页 |
| ·小结 | 第25-27页 |
| 第4章 不同衬底负偏压下纳米SiC 发光及光生载流子衰减特性分析 | 第27-40页 |
| ·不同偏压下纳米碳化硅薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·薄膜的微观结构分析 | 第28-29页 |
| ·不同衬底偏压下薄膜的光学特性分析 | 第29-32页 |
| ·不同衬底偏压下薄膜的光生载流子衰减特性 | 第32-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 结束语 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |
| 致谢 | 第45页 |