金刚石膜制备及其在机械加工领域的应用

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-17页
§1.1 引言	第7页
§1.2 金刚石的结构、性质与应用	第7-10页
§1.3 金刚石和金刚石膜的研究进展	第10-15页
§1.4 论文选题和主要研究内容	第15-17页
第二章 直流热阴极PCVD法制备金刚石膜	第17-30页
§2.1 制备金刚石膜的实验装置与工艺简介	第17-19页
§2.2 金刚石膜的生长特性	第19-25页
§2.3 金刚石膜的耐磨性能	第25-27页
§2.4 金刚石的应力与微裂纹、爆裂纹	第27-30页
第三章 CVD金刚石在刀具方面的应用研究	第30-41页
§3.1 金刚石刀具种类与优缺点	第30-32页
§3.2 大面积CVD金刚石表面改性技术	第32-36页
§3.3 CVD金刚石刀具制作技术研究	第36-38页
§3.4 CVD金刚石刀具性能测试	第38-41页
第四章 CVD金刚石在修整工具的应用研究	第41-47页
§4.1 砂轮种类及传统修整方法	第41-43页
§4.2 CVD金刚石修整器制作技术研究	第43-45页
§4.3 CVD金刚石修整工具性能研究	第45-47页
第五章 结论	第47-49页
致谢	第49-50页
参考文献	第50-51页