| 第一章 绪论 | 第1-11页 |
| 第二章 实验装置与方法 | 第11-16页 |
| ·实验装置及方法 | 第11-13页 |
| ·实验装置 | 第11-12页 |
| ·实验方法简介 | 第12-13页 |
| ·实验检测技术 | 第13-16页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)和能量色散X射线(EDX) | 第13页 |
| ·次级离子质谱(SIMS) | 第13页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第13-14页 |
| ·RAMAN散射 | 第14页 |
| ·Hall效应 | 第14-16页 |
| 第三章 金刚石薄膜合成反应动力学研究 | 第16-32页 |
| ·Langmuir单探针等离子体诊断 | 第16-23页 |
| ·实验原理 | 第16-20页 |
| ·实验结果及分析 | 第20-23页 |
| ·探针诊断结果的应用 | 第23-27页 |
| ·等离子体的光谱诊断 | 第27-29页 |
| ·光发射谱(OES)诊断原理 | 第27页 |
| ·光发射谱(OES)诊断结果及讨论 | 第27-29页 |
| ·金刚石薄膜合成反应动力学 | 第29-32页 |
| 第四章 金刚石n型掺杂 | 第32-44页 |
| ·金刚石掺杂进展 | 第32-35页 |
| ·施主元素的类型及机理 | 第32页 |
| ·各族施主元素的掺杂及性能比较 | 第32-35页 |
| ·金刚石n型掺杂的实验研究 | 第35-44页 |
| ·以钾为施主的金刚石n型掺杂 | 第36-37页 |
| ·以硫为施主的金刚石n型掺杂 | 第37-44页 |
| 第五章 结束语 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-51页 |