| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·类金刚石碳膜 | 第10-12页 |
| ·类金刚石碳膜的结构 | 第10-11页 |
| ·类金刚石碳膜的研究发展过程 | 第11-12页 |
| ·类金刚石碳膜性能与应用领域 | 第12-15页 |
| ·类金刚石碳膜常用的制备方法 | 第15-20页 |
| ·物理气相沉积法 | 第15-17页 |
| ·化学气相沉积法 | 第17-20页 |
| ·DLC 膜目前存在的主要问题 | 第20-21页 |
| ·本课题的研究背景及意义 | 第21页 |
| ·本课题的研究内容 | 第21-22页 |
| 2 类金刚石碳膜的制备及表征方法 | 第22-31页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·类金刚石碳膜的制备方法及条件 | 第22-26页 |
| ·实验设备 | 第22-24页 |
| ·衬底清洗 | 第24-25页 |
| ·样品制备工艺 | 第25页 |
| ·样品制备操作过程 | 第25-26页 |
| ·样品分析测试方法 | 第26-31页 |
| ·膜厚测量 | 第26页 |
| ·原子力显微镜（AFM）测试 | 第26页 |
| ·场发射扫描电子显微镜（SEM） | 第26-27页 |
| ·X 射线光电子能谱（XPS） | 第27页 |
| ·激光Raman 光谱 | 第27-29页 |
| ·傅里叶变换红外光谱（FTIR） | 第29页 |
| ·紫外可见光谱（UV-VIS） | 第29-30页 |
| ·碳、氢含量的检测方法 | 第30页 |
| ·热分析仪测试 | 第30-31页 |
| 3 类金刚石碳膜结构表征 | 第31-47页 |
| ·类金刚石碳膜的沉积速率 | 第31-33页 |
| ·T_2B/H_2 流量比DLC 膜沉积速率的影响 | 第31-32页 |
| ·压强对DLC 膜的沉积速率影响 | 第32页 |
| ·功率对DLC 膜的沉积速率影响 | 第32-33页 |
| ·类金刚石碳膜的拉曼光谱研究 | 第33-36页 |
| ·类金刚石碳膜的傅里叶变换红外光谱研究 | 第36-39页 |
| ·T_2B/H_2 流量比对DLC 膜红外光谱的影响 | 第36-37页 |
| ·压强对DLC 膜红外光谱的影响 | 第37-38页 |
| ·射频功率对DLC 膜红外光谱的影响 | 第38-39页 |
| ·类金刚石碳膜的XPS 光谱研究 | 第39-45页 |
| ·T_2B/H_2 流量比对DLC 膜XPS 光谱的影响 | 第39-43页 |
| ·压强对DLC 膜XPS 光谱的影响 | 第43-45页 |
| ·类金刚石碳膜的元素含量检测 | 第45-46页 |
| ·不同压强下所制DLC 薄膜样品中的元素含量 | 第45页 |
| ·不同流量比下所制DLC 膜中的元素含量 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 类金刚石碳膜表面形貌分析与沉积机理 | 第47-61页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·工艺参数对DLC 膜表面形貌的影响 | 第47-58页 |
| ·T_B /H_2 流量比对DLC 膜表面形貌的影响 | 第47-50页 |
| ·压强对DLC 膜表面形貌的影响 | 第50-54页 |
| ·射频功率对表面形貌的影响 | 第54-57页 |
| ·DLC 膜表面粗糙度随成膜厚度的变化 | 第57-58页 |
| ·类金刚石碳膜沉积机理 | 第58-60页 |
| ·离子溅射（刻蚀）模型 | 第58页 |
| ·浅注入模型 | 第58-59页 |
| ·sp~2-sp~3 转化模型 | 第59页 |
| ·热峰模型 | 第59-60页 |
| ·氢在实验过程中的作用 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 类金刚石碳膜的紫外-可见光谱及热稳定性分析 | 第61-71页 |
| ·类金刚石碳膜的紫外-可见光光谱研究 | 第61-65页 |
| ·压强对DLC 膜紫外-可见光光谱的影响 | 第61-63页 |
| ·T_2B/H_2 流量比对DLC 膜紫外-可见光光谱的影响 | 第63-64页 |
| ·射频功率对DLC 膜紫外-可见光光谱的影响 | 第64-65页 |
| ·类金刚石碳膜热稳定性研究 | 第65-70页 |
| ·T_2B/H_2 流量比对DLC 膜热稳定性的影响 | 第66-68页 |
| ·压强对DLC 薄膜热稳定性的影响 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 6 结论与展望 | 第71-72页 |
| ·主要结论 | 第71页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-80页 |
| 附录 | 第80-82页 |
