| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·纳米SiC 的研究意义 | 第8页 |
| ·纳米SiC 的结构特性 | 第8-9页 |
| ·纳米SiC 的应用前景 | 第9-10页 |
| ·国内外对纳米SiC 的研究状况 | 第10-12页 |
| ·本论文所做工作 | 第12-13页 |
| 第2章 纳米SiC 薄膜制备和特性表征技术 | 第13-18页 |
| ·纳米SiC 薄膜制备技术 | 第13-14页 |
| ·薄膜特性表征技术 | 第14-18页 |
| 第3章 纳米SiC 薄膜的微观结构及其光学特性分析 | 第18-36页 |
| ·纳米SiC 薄膜的制备 | 第18页 |
| ·外加磁场对纳米SiC 薄膜微观结构和光学特性的影响 | 第18-29页 |
| ·衬底温度对纳米SiC 薄膜微观结构和光学特性的影响 | 第29-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 纳米SiC 薄膜的能带特性分析 | 第36-48页 |
| ·精确计算光学吸收系数的方法 | 第36-37页 |
| ·非晶SiC 薄膜的能带特性分析 | 第37-42页 |
| ·纳米SiC 薄膜的能带特性分析 | 第42-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 结束语 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 致谢 | 第55页 |