微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第一章 概述	第8-18页
·论文的意义	第8-9页
·非单轴拉伸试验	第9-14页
·纳米压痕试验	第9-10页
·薄膜打压试验	第10-12页
·梁弯曲试验	第12-14页
·单轴拉伸试验	第14-18页
·单轴拉伸试验的原理及特点	第14-15页
·MEMS材料拉伸试验的进展	第15-18页
第二章 试样及夹具的设计与制备	第18-31页
·试样外形几何尺寸的确定	第18-24页
·分析模型的建立	第18-19页
·数据分析	第19-24页
·试样的机械加工	第24-26页
·试样表面的处理工艺	第26-27页
·应变测量标记的压制	第27-28页
·夹具设计	第28-31页
第三章 试验设备及技术	第31-47页
·微小试样试验系统	第31-33页
·加载机构	第32页
·载荷测量及标定	第32-33页
·激光干涉应变／位移计方法	第33-47页
·激光干涉应变计(ISDG)简介	第33-37页
·ISDG方法的深入研究	第37-47页
第四章 试验步骤、数据处理及结果分析	第47-61页
·激光干涉应变测量	第47-50页
·试样的装夹	第47页
·试样与载荷的同轴对准	第47-48页
·激光器与激光探测器的调整	第48-49页
·试验过程	第49-50页
·数据处理及试验结果	第50-53页
·试验结果分析	第53-61页
·材料弹性模量的验证	第53-58页
·误差分析	第58-61页
第五章 总结与展望	第61-63页
·全文总结	第61-62页
·工作展望	第62-63页
参考文献	第63-69页