| 第一章 绪 论 | 第1-15页 |
| ·MEMS的基本概念和发展前景 | 第8-10页 |
| ·MEMS的典型器件和系统 | 第10-11页 |
| ·MEMS器件的计算机辅助设计和模拟应用现状 | 第11-14页 |
| ·本文的主要研究目标 | 第14-15页 |
| 第二章 MEMS器件设计的计算机辅助设计方法 | 第15-20页 |
| ·MEMS器件计算机辅助设计方法的特点 | 第15-16页 |
| ·MEMS器件计算机辅助设计的设计原则 | 第16-17页 |
| ·MEMS器件计算机辅助设计的方法 | 第17-19页 |
| ·MEMS器件的设计过程 | 第17页 |
| ·MEMS器件设计模拟的具体方法 | 第17-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 MEMS器件的结构设计 | 第20-28页 |
| ·MEMS开关和微镜的概况 | 第20-21页 |
| ·MEMS开关 | 第20页 |
| ·微镜 | 第20-21页 |
| ·MEMS开关和微镜的驱动方式 | 第21-22页 |
| ·MEMS开关的结构设计 | 第22-26页 |
| ·悬臂梁式微开关原理 | 第23-25页 |
| ·MEMS开关结构参数对性能的影响 | 第25-26页 |
| ·微镜的结构设计 | 第26-27页 |
| ·微镜驱动原理 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第四章 MEMS器件的工艺设计 | 第28-36页 |
| ·MEMS器件的加工工艺概述 | 第28-30页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第28-29页 |
| ·体微机械加工技术 | 第29-30页 |
| ·LIGA技术 | 第30页 |
| ·悬臂梁式MEMS开关的工艺设计 | 第30-33页 |
| ·微镜器件的工艺设计 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第五章 MEMS器件模拟和仿真 | 第36-60页 |
| ·MEMS器件三维模型的生成 | 第36-38页 |
| ·悬臂梁式MEMS开关三维模型的生成 | 第36-38页 |
| ·微镜三维模型的生成 | 第38页 |
| ·MEMS器件的网格划分研究 | 第38-41页 |
| ·悬臂式MEMS开关的网格划分 | 第39-40页 |
| ·微镜的网格划分 | 第40-41页 |
| ·MEMS器件的静电分析 | 第41-43页 |
| ·静电分析电容求解基本理论 | 第41-42页 |
| ·悬臂式MEMS开关的静电分析 | 第42-43页 |
| ·MEMS器件的应力应变分析 | 第43-45页 |
| ·MEMS器件应力应变分析基本理论 | 第43-44页 |
| ·悬臂式MEMS开关的应力应变分析 | 第44-45页 |
| ·MEMS器件的力-电耦合分析 | 第45-52页 |
| ·力-电耦合的基本分析方法 | 第46-49页 |
| ·微镜器件的力-电耦合分析 | 第49-52页 |
| ·MEMS器件的Pull-in电压和Release电压分析 | 第52-54页 |
| ·悬臂式MEMS开关的Pull-in电压和Release电压 | 第53-54页 |
| ·MEMS器件的接触力分析 | 第54-55页 |
| ·MEMS器件的设计优化 | 第55-58页 |
| ·关于MEMS器件的宏模型(Macro-Model) | 第58-59页 |
| ·本章小节 | 第59-60页 |
| 第六章 总结和展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
