微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化

第1章 绪论	第1-21页
·微机电系统的设计技术现状	第12-16页
·微机电系统的建模与仿真	第16-18页
·论文的研究意义	第18-19页
·论文的主要研究内容	第19-21页
第2章 MEMS多域耦合与多学科设计优化	第21-36页
·微机电系统的多域耦合特性	第21-26页
·复杂微机电系统的多学科设计优化	第26-29页
·静电致动微梁	第29-30页
·微机械振动陀螺	第30-35页
·微机械陀螺的设计现状	第30-32页
·梳状驱动音叉式振动陀螺	第32-34页
·微机械陀螺的多域耦合与系统优化	第34-35页
·本章小结	第35-36页
第3章 面向多能域耦合分析的MEMS宏建模技术	第36-57页
·MEMS宏建模技术	第36-37页
·基于节点分析法的参数化宏建模技术	第37-40页
·基于Churn过程的非线性宏建模技术	第40-48页
·基于模态叠加法的Churn过程	第40-45页
·静电致动微梁的静电—结构耦合分析	第45-48页
·基于Arnoldi算法的自动宏建模技术	第48-56页
·基于Krylov子空间的Arnoldi算法	第49-52页
·原始状态空间模型的建立	第52-54页
·静电致动微梁的静电—结构—阻尼耦合分析	第54-56页
·本章小结	第56-57页
第4章 基于集总参数宏模型的MEMS多域耦合分析	第57-92页
·基于静电场分析的集总参数提取	第58-71页
·静电场基本理论	第59-60页
·静电MEMS器件的基本特性	第60-63页
·厚平板电容边缘效应的分析与模拟	第63-65页
·静电梳齿结构边缘效应的分析与模拟	第65-71页
·基于空气阻尼分析的集总参数提取	第71-83页
·滑膜阻尼	第71-73页
·基于热—流体类似的压膜阻尼分析	第73-77页
·含阻尼孔结构的压膜阻尼分析与模拟	第77-83页
·基于模态分析的集总参数获取	第83-85页
·模态分析理论基础	第83-84页
·基于模态分析的有效刚度与有效质量提取	第84-85页
·基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析	第85-91页
·静电—结构耦合分析	第85-87页
·静电—结构—阻尼的耦合分析	第87-91页
·本章小结	第91-92页
第5章 微机械陀螺的多学科设计优化	第92-119页
·微机械陀螺的系统分析	第92-105页
·加工工艺分析	第93-94页
·结构分析	第94-98页
·流体阻尼分析	第98-100页
·电路分析	第100-102页
·耦合误差分析	第102-105页
·微机械陀螺的基本设计准则	第105页
·多学科设计优化算法	第105-108页
·遗传算法	第106-108页
·模拟退火法	第108页
·基于遗传算法的微机械陀螺系统优化	第108-113页
·微机械陀螺的多学科优化模型	第108-109页
·遗传算法的实现	第109-111页
·优化方案及优化结果	第111-113页
·优化算法比较与试验验证	第113-118页
·不同优化算法的比较	第113-114页
·模态振型的验证	第114-117页
·加工测试验证	第117-118页
·本章小结	第118-119页
第6章 总结与展望	第119-122页
·总结	第119-120页
·展望	第120-122页
附录A 陀螺的性能指标	第122-124页
附录B 微机械振动陀螺的动力学分析	第124-130页
B.1 振动陀螺的基本原理	第124-127页
B.2 微机械陀螺的驱动模态运动分析	第127-128页
B.3 微机械陀螺的敏感模态运动分析	第128-130页
附录C 基于Arnoldi算法的模型降阶程序	第130-131页
附录D 梳齿电容的提取程序	第131-133页
附录E 压膜阻尼与压膜刚度的提取程序	第133-136页
附录F 遗传算法优化程序	第136-138页
参考文献	第138-148页
攻读博士学位期间撰写论文及参加科研情况	第148-149页
致谢	第149-150页
西北工业大学 学位论文知识产权声明书	第150页
西北工业大学学位论文原性声明	第150页