| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·MEMS 发展概况 | 第7-9页 |
| ·MEMS 测试技术与光学干涉测试技术 | 第9-12页 |
| ·MEMS 动态测试技术 | 第12-18页 |
| ·本课题研究的主要目的和内容 | 第18-20页 |
| 第二章 相移显微干涉测试技术 | 第20-46页 |
| ·干涉显微镜 | 第20-23页 |
| ·相移干涉技术 | 第23-33页 |
| ·相位展开技术 | 第33-45页 |
| ·误差分析 | 第45-46页 |
| 第三章 融合频闪成像技术的 MEMS 离面运动测试系统 | 第46-63页 |
| ·结合频闪成像和相移显微干涉测试 MEMS 离面运动的原理 | 第46-49页 |
| ·MEMS 离面运动测试系统 | 第49-60页 |
| ·物体运动速度对离面运动测量的影响 | 第60-63页 |
| 第四章 实验及其分析 | 第63-81页 |
| ·信号延时的分析和测量 | 第63-68页 |
| ·静态离面高度测试 | 第68-73页 |
| ·MEMS 离面运动测试 | 第73-81页 |
| 第五章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参与的科研项目 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |