| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| ·论文的研究背景和意义 | 第7-8页 |
| ·微位移驱动器的国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·稀土超磁致伸缩微位移驱动器应用现状 | 第14-17页 |
| ·论文研究内容及项目来源 | 第17-19页 |
| 第二章 稀土超磁致伸缩微位移驱动器工作原理与系统设计 | 第19-30页 |
| ·稀土超磁致伸缩材料的特性 | 第19-22页 |
| ·稀土超磁致伸缩微位移驱动器的工作原理与结构设计 | 第22-24页 |
| ·稀土超磁致伸缩微位移驱动器稳流电源设计 | 第24-27页 |
| ·驱动器工作频率范围的计算 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 稀土超磁致伸缩微位移驱动器磁场特性分析 | 第30-37页 |
| ·超磁致伸缩棒的磁场位移特性 | 第30-31页 |
| ·ANSYS有限元磁场分析 | 第31-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 稀土超磁致伸缩微位移驱动控制系统设计 | 第37-50页 |
| ·驱动器特性模型 | 第37-41页 |
| ·控制途径的分析 | 第41-43页 |
| ·PID控制算法 | 第43-45页 |
| ·控制系统设计 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 稀土超磁致伸缩微位移驱动器的实验研究 | 第50-65页 |
| ·稀土超磁致伸缩微位移驱动器预压力特性实验与分析 | 第50-52页 |
| ·稀土超磁致伸缩微位移驱动器的静态位移、力特性实验与分析 | 第52-53页 |
| ·稀土超磁致伸缩微位移驱动器的动态位移、力特性实验与分析 | 第53-57页 |
| ·JCSYSTEM软件超精密微位移控制实验 | 第57-58页 |
| ·在超精密振动控制系统中的应用研究 | 第58-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-67页 |
| ·主要结论 | 第65-66页 |
| ·工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 作者在攻读硕士学位阶段被录用和发表的文章 | 第70页 |
