| 第一章 绪论 | 第1-17页 |
| ·MEMS技术研究现状与发展趋势 | 第8-10页 |
| ·当前MEMS发展面临的两大挑战 | 第10-12页 |
| ·MEMS设计方法的研究意义及现状 | 第12-16页 |
| ·MEMS设计概述 | 第12-13页 |
| ·MEMS设计方法的研究现状 | 第13-16页 |
| ·论文研究的意义和内容 | 第16-17页 |
| 第二章 基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法 | 第17-30页 |
| ·微型机电系统设计特点 | 第17-19页 |
| ·MEMS集成设计的基本概念 | 第19-21页 |
| ·MEMS集成设计的结构组成及设计流程 | 第21-26页 |
| ·系统级设计 | 第22-23页 |
| ·器件级设计 | 第23-24页 |
| ·工艺级设计 | 第24-25页 |
| ·MEMS集成设计流程 | 第25-26页 |
| ·MEMS集成设计的关键实现技术 | 第26-29页 |
| ·系统级设计关键技术 | 第26-28页 |
| ·器件级设计关键技术 | 第28-29页 |
| ·工艺级设计关键技术 | 第29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 MEMS系统级设计及其实现 | 第30-51页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·梳状驱动音叉振动式微陀螺系统模型 | 第30-33页 |
| ·微陀螺设计原型及工作原理 | 第30-31页 |
| ·梳状驱动音叉振动式微陀螺的数学模型 | 第31-33页 |
| ·MEMS系统级建模与分析 | 第33-38页 |
| ·集中参数建模方法 | 第34-37页 |
| ·节点分析方法 | 第37-38页 |
| ·MEMS元件库技术 | 第38-45页 |
| ·MEMS元件库结构 | 第38-39页 |
| ·MEMS元件建模实例 | 第39-45页 |
| ·梁的力学模型分析 | 第39-43页 |
| ·梁的硬件描述语言建模 | 第43-45页 |
| ·梁的建模可视化 | 第45页 |
| ·微陀螺系统级建模及仿真 | 第45-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第四章 器件级设计与基于实体的版图生成 | 第51-65页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·微陀螺的结构设计及实体建模 | 第51-53页 |
| ·版图转换器方案设计 | 第53-57页 |
| ·版图文件交换标准 | 第53-55页 |
| ·实体到版图的转换方案设计 | 第55-57页 |
| ·微陀螺的版图设计 | 第57-63页 |
| ·微陀螺的三维实体到二维版图转换 | 第57-59页 |
| ·微陀螺的版图修正 | 第59-63页 |
| ·讨论 | 第63-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第五章 工艺级设计及工艺过程仿真 | 第65-78页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·MUMPS加工工艺 | 第65-67页 |
| ·微陀螺的工艺设计 | 第67-71页 |
| ·关键工艺步骤设计 | 第67-69页 |
| ·微陀螺工艺流程 | 第69-71页 |
| ·加工工艺建模 | 第71-74页 |
| ·薄膜沉积 | 第72-73页 |
| ·薄膜刻蚀 | 第73-74页 |
| ·加工工艺过程可视化仿真 | 第74-77页 |
| ·基于VRML的工艺过程仿真技术 | 第74-76页 |
| ·工艺过程仿真算法及仿真实现 | 第76-77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 结束语 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 附录1 梁的硬件描述语言模型 | 第85-89页 |