微光机电器件及其关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·MOEMS器件的研究背景及发展现状 | 第10-14页 |
| ·三维微细加工技术的发展现状 | 第14页 |
| ·MOEMS研究工作基础 | 第14-15页 |
| ·本论文的研究内容 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-20页 |
| 第二章 高能X射线聚焦组合透镜 | 第20-43页 |
| ·引言 | 第20-24页 |
| ·高能X射线聚焦组合透镜的理论研究 | 第24-35页 |
| ·X射线组合透镜的设计理论 | 第24-29页 |
| ·X射线聚焦组合透镜聚焦性能的数值计算 | 第29-35页 |
| ·高能X射线聚焦组合透镜的结构设计与制作技术研究 | 第35-40页 |
| ·高能X射线聚焦组合透镜的结构设计 | 第35页 |
| ·高能X射线聚焦组合透镜的制作技术研究 | 第35-37页 |
| ·实验结果与分析 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-43页 |
| 第三章 微型可调谐红外滤光器 | 第43-59页 |
| ·引言 | 第43-45页 |
| ·微型可调谐红外滤光器的理论研究 | 第45-47页 |
| ·微型可调谐红外滤光器结构设计 | 第47-50页 |
| ·微型可调谐红外滤光器制作技术研究 | 第50-55页 |
| ·微型可调谐红外滤光器制作工艺流程 | 第50-52页 |
| ·可调谐光栅的实验技术研究 | 第52-55页 |
| ·讨论 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第四章 8×8MOEMS阵列光开关 | 第59-76页 |
| ·引言 | 第59-62页 |
| ·MOEMS光开关阵列的工作原理及理论分析 | 第62-65页 |
| ·反射镜芯片的制作 | 第65页 |
| ·反射镜闩锁结构的设计及制作技术 | 第65-67页 |
| ·8×8阵列光开关的耦合技术研究 | 第67-74页 |
| ·高斯光束的准直特性 | 第68-70页 |
| ·8×8阵列光开关准直器设计 | 第70-72页 |
| ·8×8阵列光开关基座 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 第五章 用于MOEMS的微型电磁驱动器 | 第76-90页 |
| ·引言 | 第76-77页 |
| ·端面摇摆式微型电磁驱动器 | 第77-84页 |
| ·端面摇摆式微型电磁驱动器的结构和工作原理 | 第77-78页 |
| ·转子运动分析 | 第78-80页 |
| ·端面摇摆微驱动器结构设计 | 第80-81页 |
| ·端面摇摆式微型电磁驱动器的制作及测试 | 第81-84页 |
| ·双转子平面微电机定子制作工艺研究 | 第84-87页 |
| ·结构及制备工艺 | 第84-86页 |
| ·结果与讨论 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 第六章 MOEMS三维微细加工技术研究 | 第90-124页 |
| ·引言 | 第90-95页 |
| ·LIGA技术研究 | 第95-103页 |
| ·LIGA技术原理 | 第95-98页 |
| ·X射线光刻掩膜 | 第98-101页 |
| ·X射线光刻及电铸 | 第101-103页 |
| ·准分子激光刻蚀技术研究 | 第103-111页 |
| ·准分子激光直接刻蚀原理 | 第103-106页 |
| ·准分子激光刻蚀掩膜研究 | 第106-108页 |
| ·准分子激光直接刻蚀实验研究 | 第108-111页 |
| ·准LIGA技术研究 | 第111-121页 |
| ·准LIGA技术的厚胶紫外光刻 | 第111-120页 |
| ·LIGA类技术的电铸工艺研究 | 第120-121页 |
| ·LIGA类技术的塑铸工艺研究 | 第121页 |
| ·本章小结 | 第121页 |
| 参考文献 | 第121-124页 |
| 第七章 结论 | 第124-126页 |
| 在读期间参加课题情况 | 第126页 |
| 在读期间发表论文和申请专利情况 | 第126-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
