| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| ·微型机电系统的发展现状 | 第8-11页 |
| ·微型机电系统的设计 | 第11-16页 |
| ·发展现状 | 第11-15页 |
| ·基于top-down设计bottom-up修正的MEMS集成设计 | 第15-16页 |
| ·论文研究的意义 | 第16-17页 |
| ·课题的来源及本文的内容 | 第17-19页 |
| 第二章 MEMS集成设计平台的建模 | 第19-37页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·平台的建模技术研究 | 第20-24页 |
| ·CORBA技术 | 第20-22页 |
| ·基于UML的面向对象建模方法 | 第22-24页 |
| ·MEMS集成设计平台的框架结构 | 第24-26页 |
| ·平台系统的建模 | 第26-31页 |
| ·用例图 | 第26-29页 |
| ·类图 | 第29-30页 |
| ·CORBA组件建模 | 第30-31页 |
| ·各功能模块的数据通讯 | 第31-32页 |
| ·数据库的建立 | 第32-36页 |
| ·基本映射技术 | 第32-35页 |
| ·数据库的建立 | 第35-36页 |
| 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 MEMS系统级建模方法与实现技术 | 第37-54页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·系统级建模方法 | 第37-39页 |
| ·混合信号系统模型 | 第39-44页 |
| ·共轭功率对 | 第40-41页 |
| ·多端口组件 | 第41-44页 |
| ·VHDL-AMS建模 | 第44-52页 |
| ·VHDL-AMS | 第44-46页 |
| ·用VHDL-AMS对组件建模 | 第46-52页 |
| ·基于VHDL-AMS的建模可视化 | 第52-53页 |
| 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 MEMS宏模型建模 | 第54-77页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·宏模型及其建模方法 | 第54-55页 |
| ·组件宏模型建模 | 第55-70页 |
| ·梁 | 第55-60页 |
| ·平板质量块 | 第60-63页 |
| ·锚点 | 第63-64页 |
| ·连接组件 | 第64-65页 |
| ·平行板电容驱动器 | 第65-66页 |
| ·静电梳齿驱动器 | 第66-67页 |
| ·阻尼模型 | 第67-69页 |
| ·模型的仿真验证 | 第69-70页 |
| ·基于三维实体的宏模型自动获取 | 第70-76页 |
| ·广义坐标的选择 | 第71-72页 |
| ·各能量域的能量计算 | 第72-73页 |
| ·系统运动方程建立 | 第73-75页 |
| ·宏模型的自动获取 | 第75-76页 |
| 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 硅基微陀螺的系统级设计 | 第77-88页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·硅基微陀螺的工作原理 | 第77-79页 |
| ·硅基微陀螺的系统级设计 | 第79-80页 |
| ·系统级建模 | 第80-84页 |
| ·系统仿真 | 第84-87页 |
| 本章小结 | 第87-88页 |
| 结束语 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-96页 |
| 致谢 | 第96页 |