| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·MEMS及其发展现状 | 第8-10页 |
| ·MEMS计算机辅助设计(MEMS CAD)的发展现状 | 第10-11页 |
| ·论文研究的目的与意义 | 第11-12页 |
| ·论文研究的内容 | 第12-13页 |
| 第二章 MEMS加工方法分类及分析 | 第13-19页 |
| ·MEMS加工方法的来源 | 第13-14页 |
| ·MEMS加工方法分类 | 第14-16页 |
| ·光刻 | 第14页 |
| ·刻蚀 | 第14页 |
| ·掺杂 | 第14-15页 |
| ·基体键合 | 第15页 |
| ·烘干 | 第15页 |
| ·体加工 | 第15页 |
| ·表面加工 | 第15-16页 |
| ·LIGA | 第16页 |
| ·MUMPS工艺 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 MEMS工艺建模 | 第19-26页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·建模方法 | 第19-20页 |
| ·MEMS器件的三维几何模型 | 第20页 |
| ·表面微细加工工序模型 | 第20-23页 |
| ·沉积模型 | 第21-22页 |
| ·刻蚀模型 | 第22-23页 |
| ·光刻模型 | 第23页 |
| ·MEMS加工过程模型 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第四章 工艺集成化设计 | 第26-35页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·集成化设计的体系结构 | 第26-27页 |
| ·数据库支持 | 第27-29页 |
| ·材料数据库 | 第27-28页 |
| ·工艺信息数据库 | 第28-29页 |
| ·版图设计 | 第29-30页 |
| ·工艺描述文件 | 第30-33页 |
| ·基体创建 | 第30-31页 |
| ·沉积 | 第31页 |
| ·光刻 | 第31-32页 |
| ·刻蚀 | 第32页 |
| ·氧化 | 第32-33页 |
| ·控制文件 | 第33页 |
| ·工艺设计的集成化环境 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第五章 工艺可视化的算法研究 | 第35-60页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·工艺可视化技术方案 | 第35-36页 |
| ·可视化的算法基础 | 第36-52页 |
| ·布尔运算 | 第36-39页 |
| ·布尔算法 | 第39-50页 |
| ·点的位置区域算法 | 第40页 |
| ·多边形分割算法 | 第40-45页 |
| ·掩膜是否在暴露表面 | 第45-46页 |
| ·交集的算法 | 第46-48页 |
| ·差集运算 | 第48-49页 |
| ·并集运算 | 第49-50页 |
| ·其他的算法基础 | 第50-52页 |
| ·实体的数据结构 | 第50页 |
| ·线段的表示 | 第50-51页 |
| ·线段的交点 | 第51页 |
| ·方向向量 | 第51-52页 |
| ·工艺可视化算法 | 第52-59页 |
| ·创建基体的算法 | 第52-53页 |
| ·沉积算法 | 第53-54页 |
| ·光刻 | 第54-55页 |
| ·刻蚀 | 第55-59页 |
| ·外部刻蚀 | 第55-57页 |
| ·内部刻蚀 | 第57-58页 |
| ·完整刻蚀 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 工艺可视化的实现 | 第60-70页 |
| ·软件环境 | 第60页 |
| ·工艺可视化的框架结构 | 第60-61页 |
| ·SOLIDWORKS API | 第61-62页 |
| ·CIF文件格式 | 第62-65页 |
| ·工艺描述文件 | 第65页 |
| ·可视化的开发流程 | 第65-69页 |
| ·开发环境的设置 | 第65-66页 |
| ·SOLIDWOKS API操作过程 | 第66页 |
| ·信息的提取和处理 | 第66-67页 |
| ·三维显示 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 结束语 | 第70-72页 |
| 总结 | 第70页 |
| 展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |