基于MEMS的声表面波器件设计与制作的关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1．1 研究声表面波技术的意义 | 第7-8页 |
| 1．2 声表面波器件的国内外研究水平与现状 | 第8-11页 |
| 1．2．1 声表面波技术发展历程 | 第8-9页 |
| 1．2．2 声表面波技术现状 | 第9-11页 |
| 1．2．3 我国声表面波技术现状 | 第11页 |
| 1．3 论文的结构安排 | 第11-13页 |
| 第二章 声表面波原理及器件 | 第13-26页 |
| 2．1 声表面波原理和特点 | 第13页 |
| 2．2 叉指换能器 | 第13-21页 |
| 2．2．1 叉指换能器概述 | 第14-16页 |
| 2．2．2 等叉指换能器基本特性 | 第16-19页 |
| 2．2．3 叉指换能器的脉冲响应模型 | 第19-21页 |
| 2．3 声表面波器件 | 第21-24页 |
| 2．3．1 声表面波器件原理 | 第21-22页 |
| 2．3．2 声表面波延迟线 | 第22-23页 |
| 2．3．3 声表面波谐振器 | 第23页 |
| 2．3．4 声表面波振荡器 | 第23-24页 |
| 2．4 声表面波器件用基底材料 | 第24-25页 |
| 2．5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 遗传算法在叉指换能器幅频特性设计中的应用 | 第26-38页 |
| 3．1 叉指换能器加权 | 第26-27页 |
| 3．2 用遗传算法设计叉指换能器幅频特性 | 第27-33页 |
| 3．2．1 个体表示方法 | 第27-29页 |
| 3．2．2 产生初始种群 | 第29-30页 |
| 3．2．3 适应度函数设计 | 第30-32页 |
| 3．2．4 遗传操作 | 第32-33页 |
| 3．2．5 终止条件 | 第33页 |
| 3．3 仿真实验结果和分析 | 第33-37页 |
| 3．3．1 仿真目标 | 第33-34页 |
| 3．3．2 离散精度对幅频响应的影响 | 第34页 |
| 3．3．3 遗传算法的应用 | 第34-37页 |
| 3．4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 声表面波器件设计理论和方法 | 第38-46页 |
| 4．1 声表面波带通滤波器设计 | 第38-41页 |
| 4．1．1 声表面波带通滤波器工作原理 | 第38-39页 |
| 4．1．2 声表面波带通滤波器设计 | 第39-41页 |
| 4．2 声表面波加速度计设计 | 第41-45页 |
| 4．2．1 声表面波加速度计工作原理 | 第41-42页 |
| 4．2．2 悬臂梁应力分析 | 第42页 |
| 4．2．3 加速度计的灵敏度 | 第42-44页 |
| 4．2．4 影响加速度灵敏度的参数分析 | 第44-45页 |
| 4．3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 声表面波器件制作工艺研究 | 第46-59页 |
| 5．1 声表面波器件制作工艺流程 | 第46页 |
| 5．2 金属薄膜溅射工艺研究 | 第46-51页 |
| 5．2．1 溅射原理 | 第46-47页 |
| 5．2．2 溅射速率与电源功率关系研究 | 第47-51页 |
| 5．3 感应耦合等离子体刻蚀研究 | 第51-57页 |
| 5．3．1 感应耦合等离子体刻蚀原理 | 第51页 |
| 5．3．2 刻蚀速率与工艺参数关系研究 | 第51-57页 |
| 5．4 声表面波器件制作 | 第57-58页 |
| 5．5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 6．1 全文总结 | 第59页 |
| 6．2 研究展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
