| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·微机电系统的研究现状与发展趋势 | 第7-8页 |
| ·MEMS CAD的国内外研究现状 | 第8-12页 |
| ·MEMS CAD国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·微机电系统集成平台(MEMS GARDEN 3.0) | 第10-12页 |
| ·论文研究的目的与意义 | 第12-13页 |
| ·本论文的研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 MEMS加工技术及工艺建模 | 第14-27页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·MEMS加工技术 | 第15-21页 |
| ·光刻技术 | 第15-16页 |
| ·表面微细加工方法 | 第16-18页 |
| ·体加工方法 | 第18-20页 |
| ·键合技术 | 第20-21页 |
| ·MEMS工艺建模 | 第21-26页 |
| ·创建基体 | 第22页 |
| ·沉积 | 第22-23页 |
| ·光刻和刻蚀结合模型 | 第23-26页 |
| ·键合 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 MEMS工艺版图三维重构系统 | 第27-37页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·工艺流程制定 | 第27-29页 |
| ·工艺流程文件 | 第27-28页 |
| ·工艺编辑器 | 第28-29页 |
| ·掩模版图 | 第29-34页 |
| ·版图设计工具 | 第29-30页 |
| ·版图文件 | 第30-34页 |
| ·三维重构系统开发 | 第34-37页 |
| ·开发工具和开发平台 | 第34页 |
| ·基于ACIS的应用软件开发接口 | 第34-35页 |
| ·三维重构流程 | 第35-37页 |
| 第四章 MEMS工艺版图的三维重构程序设计 | 第37-50页 |
| ·数据结构 | 第37-41页 |
| ·ACIS模型的数据结构 | 第37-38页 |
| ·CIF文件信息存取数据结构 | 第38-40页 |
| ·系统数据结构 | 第40-41页 |
| ·工艺信息处理算法 | 第41-49页 |
| ·基础算法 | 第41-46页 |
| ·工艺处理算法 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 MEMS工艺版图三维重构实现 | 第50-61页 |
| ·引言 | 第50-51页 |
| ·定义工艺流程 | 第51-54页 |
| ·微机械陀螺的加工工艺 | 第51-52页 |
| ·工艺流程文件 | 第52-54页 |
| ·版图文件 | 第54-57页 |
| ·三维实体重构 | 第57-60页 |
| ·实体模型导入Ansys | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结束语 | 第61-64页 |
| 总结 | 第61-62页 |
| 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 附录 | 第67-71页 |