微型机电系统端点特性建模技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·微电子机械系统及其仿真 | 第8-15页 |
| ·微电子机械系统概述 | 第8-9页 |
| ·微电子机械系统建模与仿真概述 | 第9-10页 |
| ·微电子机械系统建模与仿真的流程 | 第10-15页 |
| ·微电子机械系统模拟的层次 | 第10-11页 |
| ·微电子机械系统不同层次的模拟与仿真 | 第11-14页 |
| ·目前微电子机械系统建模技术概况 | 第14-15页 |
| ·课题的意义和论文的主要内容 | 第15-18页 |
| ·课题的研究意义 | 第15-16页 |
| ·论文的主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 微电子机械系统的建模方法 | 第18-38页 |
| ·等效电路法 | 第18-27页 |
| ·F-Ⅰ类比等效电路法 | 第22-24页 |
| ·F-Ⅴ类比 | 第24-27页 |
| ·集总参量网络宏模型 | 第27-34页 |
| ·原理 | 第27-31页 |
| ·自加热电阻 | 第31-34页 |
| ·节点法 | 第34-38页 |
| ·节点法原理 | 第34-35页 |
| ·节点法举例 | 第35-38页 |
| 第三章 端点特性建模技术 | 第38-50页 |
| ·端点变量的定义 | 第38-40页 |
| ·端点变量之间基本关系的建立 | 第40-44页 |
| ·基于FEM的端点特性法 | 第44-50页 |
| ·ANSYS | 第44-45页 |
| ·有限元端点特性建模技术-空间梁单元 | 第45-48页 |
| ·电制动器的端点特性 | 第48-50页 |
| 第四章 电-机械耦合的端点特性建模技术分析算法 | 第50-60页 |
| ·静态分析算法 | 第50-55页 |
| ·静态线性分析 | 第51页 |
| ·静态非线性分析 | 第51-55页 |
| ·谐态分析 | 第55-56页 |
| ·模态分析 | 第56-58页 |
| ·动态分析 | 第58-60页 |
| 第五章 微泵系统的模拟与仿真 | 第60-73页 |
| ·微泵腔系统端点变量的关系 | 第60-65页 |
| ·微泵的工作原理 | 第60-61页 |
| ·宏模型及端点关系的建立 | 第61-62页 |
| ·基于能量耦合法和ANSYS软件建立泵腔宏模型 | 第62-65页 |
| ·仿真结果 | 第65-73页 |
| ·建立模型进行模态分析 | 第66-69页 |
| ·建立模型进行耦合场分析 | 第69-71页 |
| ·结果计算 | 第71-73页 |
| 第六章 总结和展望 | 第73-75页 |
| ·论文总结 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-75页 |
| 附录A | 第75-78页 |
| 附录B | 第78-81页 |
| 附录C | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 作者发表及录用文章 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
