z轴硅微陀螺仪残余应力分析及结构优化研究
| 第一章 绪 论 | 第1-16页 |
| ·硅微惯性器件的研究背景 | 第10-11页 |
| ·国外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-14页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第14页 |
| ·本课题研究关键问题及内容 | 第14-16页 |
| 第二章 双线振动微机械陀螺仪的理论基础 | 第16-27页 |
| ·双线振动陀螺仪的工作原理 | 第16-19页 |
| ·双线振动陀螺仪的设计思想 | 第16-17页 |
| ·双线振动陀螺仪的隔离耦合的结构设计 | 第17-18页 |
| ·硅微双线振动陀螺仪的工作原理 | 第18-19页 |
| ·双线振动陀螺仪的欧拉动力学方程 | 第19-21页 |
| ·硅微机械振动陀螺仪的运动分析 | 第21-24页 |
| ·双线振动陀螺仪的误差分析 | 第24-26页 |
| ·工艺误差引起的漂移误差 | 第24-25页 |
| ·温度引起的测量误差 | 第25-26页 |
| ·检测电路噪声引起的测量误差 | 第26页 |
| ·小结 | 第26-27页 |
| 第三章 双线振动陀螺仪结构有限元分析 | 第27-36页 |
| ·有限元算法简介 | 第27-29页 |
| ·结构静力分析的有限单元法 | 第27-28页 |
| ·用有限单元法分析结构振动问题 | 第28-29页 |
| ·ANSYS简介 | 第29-31页 |
| ·ANSYS概述 | 第29-30页 |
| ·ANSYS的分析步骤 | 第30-31页 |
| ·振动模态分析 | 第31-34页 |
| ·有限元模型的建立 | 第31页 |
| ·模态分析 | 第31-34页 |
| ·其它物理场的分析 | 第34-35页 |
| ·结构静力学分析 | 第34-35页 |
| ·热/结构耦合分析 | 第35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第四章 硅微机械惯性器件的残余应力理论 | 第36-53页 |
| ·硅微机械惯性器件加工工艺 | 第36-39页 |
| ·掺杂技术 | 第36-37页 |
| ·光刻技术 | 第37页 |
| ·腐蚀技术 | 第37-38页 |
| ·键合技术 | 第38页 |
| ·封装技术 | 第38-39页 |
| ·残余应力的影响分析 | 第39-49页 |
| ·微机械z轴陀螺仪的工艺过程 | 第39-40页 |
| ·残余应力的产生 | 第40-42页 |
| ·陀螺仪的残余应力计算 | 第42-43页 |
| ·残余应力的传递和造成的影响 | 第43-45页 |
| ·残余应力下梁的固有频率 | 第45-47页 |
| ·残余应力对陀螺仪性能的影响 | 第47-49页 |
| ·降低残余应力影响的解决办法 | 第49-52页 |
| ·降低残余应力效应的分析 | 第49页 |
| ·支承梁为不同类型梁时的陀螺仪性能分析比较 | 第49-51页 |
| ·增加应力释放槽的陀螺仪性能分析 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 仿真与实验 | 第53-63页 |
| ·有限元仿真 | 第53-59页 |
| ·模态分析 | 第53-58页 |
| ·谐响应分析 | 第58-59页 |
| ·实验 | 第59-62页 |
| ·驱动轴的响应特性 | 第59-60页 |
| ·检测轴的响应特性 | 第60-61页 |
| ·陀螺仪的实际结构尺寸 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参 考 文 献 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |
