| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| 1．1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1．2 研究现状 | 第10-13页 |
| 1．3 本文的研究要点 | 第13-15页 |
| 第二章 压电驱动器的非线性及其变比模型 | 第15-27页 |
| 2．1 压电驱动器的非线性及其形成机理 | 第15-17页 |
| 2．1．1 压电驱动器的非线性 | 第15页 |
| 2．1．2 压电驱动器非线性的几点性质 | 第15-17页 |
| 2．1．3 压电驱动器非线性的形成机理 | 第17页 |
| 2．2 压电驱动器非线性的变比模型 | 第17-22页 |
| 2．2．1 变比模型 | 第17-20页 |
| 2．2．2 理论模型与实际升、降过程曲线的对比 | 第20-22页 |
| 2．3 压电驱动器变比模型的几点性质 | 第22-26页 |
| 2．3．1 变比模型的单向包容性 | 第22-24页 |
| 2．3．2 非线性变比模型的逆向实现 | 第24-25页 |
| 2．3．3 反推过程的误差递减 | 第25页 |
| 2．3．4 关于小环相似性 | 第25-26页 |
| 2．4 小结 | 第26-27页 |
| 第三章 基于变比模型的压电驱动器前馈控制方法研究 | 第27-46页 |
| 3．1 基于变比模型的压电驱动器前馈控制设计 | 第27-32页 |
| 3．1．1 硬件结构设计 | 第27-28页 |
| 3．1．2 控制算法 | 第28-30页 |
| 3．1．3 控制系统结构 | 第30-32页 |
| 3．1．4 软件结构设计 | 第32页 |
| 3．2 变比模型前馈控制下压电驱动器动态性能测试 | 第32-37页 |
| 3．2．1 阶跃响应 | 第32-33页 |
| 3．2．2 频率响应 | 第33-34页 |
| 3．2．3 任意输入信号的跟踪 | 第34-37页 |
| 3．3 各种控制方法之间的对比实验研究 | 第37-44页 |
| 3．3．1 开环控制 | 第37-39页 |
| 3．3．2 普通PID控制 | 第39-40页 |
| 3．3．3 变速积分PID控制 | 第40页 |
| 3．3．4 带有变比模型前馈补偿普通PID控制 | 第40-41页 |
| 3．3．5 电荷控制 | 第41-43页 |
| 3．3．6 结果对比 | 第43-44页 |
| 3．4 小结 | 第44-46页 |
| 第四章 压电驱动微位移工作台特性分析及控制方法研究 | 第46-65页 |
| 4．1 压电驱动微位移工作台动态特性分析 | 第46-48页 |
| 4．1．1 引言 | 第46页 |
| 4．1．2 压电驱动器的电学传递特性 | 第46-47页 |
| 4．1．3 压电驱动器伸长与场强、力的关系 | 第47页 |
| 4．1．4 工作台机械部分的运动微分方程 | 第47-48页 |
| 4．1．5 系统总的动力学模型 | 第48页 |
| 4．2 压电驱动微位移工作台设计的边界条件 | 第48-50页 |
| 4．2．1 系统所能达到的频响 | 第48-50页 |
| 4．2．2 初始预紧力的选择 | 第50页 |
| 4．3 压电驱动微位移工作台控制方法研究 | 第50-55页 |
| 4．3．1 弹性预紧力对压电驱动器的影响 | 第50-52页 |
| 4．3．2 压电驱动微位移工作台变比模型 | 第52-54页 |
| 4．3．3 硬件结构设计 | 第54-55页 |
| 4．3．4 软件结构设计 | 第55页 |
| 4．4 压电驱动微位移工作台控制系统动态性能测试 | 第55-61页 |
| 4．4．1 工作台固有频率的测试 | 第55-56页 |
| 4．4．2 微位移工作台阶跃响应 | 第56-58页 |
| 4．4．3 对任意输入信号的跟踪 | 第58-61页 |
| 4．4．4 各种控制算法的对比 | 第61页 |
| 4．5 压电驱动微位移工作台静态性能测试 | 第61-64页 |
| 4．6 小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结束语 | 第65-67页 |
| 5．1 全文总结 | 第65页 |
| 5．2 本文的创新点 | 第65-66页 |
| 5．3 进一步工作的展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 发表论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |