| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 目 录 | 第6-8页 |
| 1 序 论 | 第8-19页 |
| ·课题研究的意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-18页 |
| ·压电陶瓷控制模型的研究状况 | 第9-16页 |
| ·多自由度微位移控制平台的研究与应用 | 第16-18页 |
| ·本课题研究主要内容 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 2 压电陶瓷驱动方法及控制模型 | 第19-30页 |
| ·压电陶瓷基本原理及特征分析 | 第19-23页 |
| ·压电陶瓷的本征分析 | 第19-22页 |
| ·课题使用的PZT的特性实验分析 | 第22-23页 |
| ·压电陶瓷驱动方法 | 第23-25页 |
| ·电压驱动方法 | 第24页 |
| ·电荷驱动方法 | 第24-25页 |
| ·压电陶瓷Preisach迟滞控制模型 | 第25-29页 |
| ·Preisach模型基本原理 | 第25-26页 |
| ·Preisach模型的编程实现 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 反馈信号采集方法 | 第30-40页 |
| ·电阻应变片式信号采集法 | 第30-32页 |
| ·电阻应变片原理 | 第30-31页 |
| ·电阻应变片信号转换电路 | 第31-32页 |
| ·电感式传感器数据采集方法 | 第32-36页 |
| ·电感式传感器原理 | 第32-33页 |
| ·基于电感式传感器反馈控制的实现 | 第33-35页 |
| ·电感式传感器在本系统应用的优点及其局限性 | 第35-36页 |
| ·基于PSD多路信号数据采集系统的方法 | 第36-39页 |
| ·PSD器件原理及其特性 | 第36-39页 |
| ·PSD多路信号采集实现过程 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 系统反馈控制过程 | 第40-53页 |
| ·单个压电陶瓷反馈控制方法 | 第40-46页 |
| ·PID控制控制基本原理、特性及参数整定方法 | 第40-43页 |
| ·PID控制作用MATLAB分析 | 第43-44页 |
| ·积分分离PID控制算法 | 第44-45页 |
| ·单个压电陶瓷的积分分离PID反馈控制的实际编程实现 | 第45-46页 |
| ·多自由度微位移控制平台系统反馈控制过程 | 第46-52页 |
| ·系统整体结构原理分析 | 第46-49页 |
| ·系统多自由度实现位姿矩阵 | 第49-50页 |
| ·系统位移误差的分配及编程实现 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 基于PREISACH模型和PID控制的实验过程及误差分析 | 第53-63页 |
| ·单个压电陶瓷的实验过程 | 第53-56页 |
| ·多自由度实验平台整体实验过程 | 第56页 |
| ·实验数据结果及误差分析 | 第56-62页 |
| ·单个压电陶瓷实验结果 | 第56-58页 |
| ·多自由度位移平台系统实验结果 | 第58-61页 |
| ·误差分析与改进措施 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6 全文总结 | 第63-64页 |
| 致 谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录:作者在攻读硕士学位期间发表论文 | 第68-69页 |