| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1．1 问题的提出 | 第9-10页 |
| 1．2 常用位移计量方法综述 | 第10页 |
| 1．3 世界各国测量机及应用二维平台 | 第10-14页 |
| 1．4 二维位移工作台存在的主要问题 | 第14-15页 |
| 1．5 本文的主要研究内容及创新 | 第15-17页 |
| 2 平面正交衍射光栅计量方法的研究 | 第17-35页 |
| 2．1 平面正交衍射光栅向量普适表达方程式 | 第17-19页 |
| 2．2 正交衍射光栅的测量原理 | 第19-21页 |
| 2．3 直角棱镜放置位置的设计 | 第21-22页 |
| 2．4 衍射光束方向、位置与光栅偏转、平移关系的理论建模 | 第22-26页 |
| 2．5 衍射光束干涉条纹图的仿真 | 第26-31页 |
| 2．6 测量误差的分析 | 第31-34页 |
| 2．7 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 衍射光栅干涉条纹的光电接收与处理方法 | 第35-74页 |
| 3．1 满足条纹计数的光电转换李萨如信号分析 | 第35-38页 |
| 3．2 椭圆信号的采集拟合、校正与补偿 | 第38-45页 |
| 3．3 获取条纹光电转换信号的方法 | 第45-58页 |
| 3．4 光电接收信噪比分析 | 第58-62页 |
| 3．5 线阵 CCD 干涉条纹的处理研究 | 第62-72页 |
| 3．6 本章小结 | 第72-74页 |
| 4 共运动基面与共计量标准器工作台的结构设计与驱动 | 第74-85页 |
| 4．1 工作台整体结构 | 第74-75页 |
| 4．2 共运动基面与工作台导向机构的设计 | 第75-76页 |
| 4．3 粗动工作台偏摆运动误差的计算 | 第76-77页 |
| 4．4 微定位工作台结构及静力学分析 | 第77-79页 |
| 4．5 工作台定位驱动 | 第79-83页 |
| 4．6 共计量标准器工作台结构 | 第83-84页 |
| 4．7 本章小结 | 第84-85页 |
| 5 驱动系统性能分析及虚拟仪器技术的应用 | 第85-105页 |
| 5．1 驱动系统硬件结构设计 | 第85-90页 |
| 5．2 工作台动态特性与稳定性分析 | 第90-99页 |
| 5．3 平面光栅与双频激光两测量系统测量结果的比对与分析 | 第99-102页 |
| 5．4 虚拟仪器技术的应用 | 第102-104页 |
| 5．5 本章小结 | 第104-105页 |
| 6 全文总结及展望 | 第105-107页 |
| 6．1 全文总结 | 第105-106页 |
| 6．2 展望及今后工作的建议 | 第106-107页 |
| 致谢 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-115页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表第一作者学术论文 | 第115-116页 |
| 附录2 精密工作台实验原型照片 | 第116-117页 |
| 附录3 基于 ISA 卡的电路原理图 | 第117-120页 |
| 附录4 电路实物图照片 | 第120-123页 |
| 附录5 网上检索 EI 收录发表文章 | 第123页 |
