基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究

第一章 绪论	第1-17页
·微型机电系统的发展状况	第7-10页
·基于MEMS的微致动器	第10-13页
·微致动器在三角翼气动控制中的应用	第13-15页
·论文的研究内容和意义	第15-17页
第二章 微致动器阵列实现三角翼气动控制的原理	第17-31页
·引言	第17页
·边界层控制技术	第17-23页
·边界层理论	第17-21页
·边界层控制技术	第21-23页
·三角翼的气动特征	第23-25页
·微致动器阵列实现三角翼气动控制的原理	第25-30页
·微致动器工作原理	第25-26页
·力矩的产生原理	第26-27页
·三角翼的三轴控制机理	第27-30页
·本章小结	第30-31页
第三章 微致动器阵列的设计	第31-38页
·引言	第31页
·总体设计	第31-33页
·三角翼模型	第31-32页
·载荷分析	第32页
·薄膜材料的选择	第32-33页
·结构设计	第33-34页
·工艺流程	第34-37页
·微机械加工技术	第34-35页
·微气泡致动器工艺流程	第35-37页
·本章小结	第37-38页
第四章 微致动器阵列系统行为仿真	第38-51页
·引言	第38页
·静力测试	第38-44页
·理论计算	第38-40页
·数值仿真	第40-44页
·风洞试验仿真	第44-50页
·模型的建立	第44-45页
·前置处理	第45页
·仿真结果	第45-50页
·本章小结	第50-51页
第五章 结束语	第51-53页
·总结	第51-52页
·展望	第52-53页
参考文献	第53-57页
致谢	第57-59页