| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1．1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1．2 与本研究相关微机械技术 | 第9-15页 |
| 1．3 微机械前沿技术和应用领 | 第15-17页 |
| 1．4 本研究的侧重点、目的和意义 | 第17-18页 |
| 1．5 微机械压电微电机在理论与实践研究方面的创新点 | 第18页 |
| 1．6 微机械压电微电机已有的研究成果以及本研究所取得的进展 | 第18-19页 |
| 1．7 小结 | 第19-20页 |
| 第二章 微机械压电微电机的设计与实验 | 第20-42页 |
| 2．1 概述 | 第20-21页 |
| 2．2 微机械压电微电机设计 | 第21-28页 |
| 2．3 微机械压电微电机性原型机制作 | 第28-34页 |
| 2．4 微机械压电微电机性能实验 | 第34-41页 |
| 2．5 小结 | 第41-42页 |
| 第三章 微机械压电微电机的数学原理 | 第42-81页 |
| 3．1 概述 | 第42页 |
| 3．2 微机械压电微电机的基础数理方程 | 第42-58页 |
| 3．2．1 基本假设假 | 第42-43页 |
| 3．2．2 守恒定律 | 第43页 |
| 3．2．3 几何方程 | 第43-45页 |
| 3．2．4 物理方程 | 第45-47页 |
| 3．2．5 运动方程 | 第47页 |
| 3．2．6 压电方程 | 第47-53页 |
| 3．2．7 机电耦合系数 | 第53-54页 |
| 3．2．8 微尺寸压电陶瓷电路状态方程 | 第54-56页 |
| 3．2．9 关于损耗 | 第56-58页 |
| 3．3 压电换能器的等效电路和最大电声效率 | 第58-74页 |
| 3．3．1 压电换能器在共振频率下的等效电路和参数的物理意义 | 第58-65页 |
| 3．3．2 压电换能器的最佳负载 | 第65-68页 |
| 3．3．3 压电微电机等效电参量的近似算法及压电换能器的最大电声效率的影响因素 | 第68-74页 |
| 3．4 微机械压电微电机的尺寸效应 | 第74-78页 |
| 3．4．1 压电微电机等效电参量的归一化描述 | 第74-76页 |
| 3．4．2 尺寸对微机械压电微电机承载能力的影响 | 第76-78页 |
| 3．5 小结 | 第78-81页 |
| 第四章 微机械压电微电机实用化进程中的关键问题探讨 | 第81-85页 |
| 4．1 概述 | 第81页 |
| 4．2 微机械压电微电机的关键结构及封装技术 | 第81-83页 |
| 4．2．1 轴承 | 第81-82页 |
| 4．2．2 压电换能器 | 第82页 |
| 4．2．3 压电薄膜材料的弛豫特性匹配 | 第82-83页 |
| 4．2．4 压电微电机的封装 | 第83页 |
| 4．3 关键结构及封装技术 | 第83页 |
| 4．4 微机械电机的应用形式及可能采取的工艺方法 | 第83-84页 |
| 4．5 小结 | 第84-85页 |
| 第五章 论文总结 | 第85-88页 |
| 附录A Rayleigh面波数学推导 | 第88-92页 |
| 附录B 晶体方程式的推导 | 第92-98页 |
| 附录C LiNbO3和LiTaO3的性能参数 | 第98-99页 |
| 附录D 常用压电陶瓷的参数 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-105页 |
| 发表文章目录 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 作者简历 | 第107页 |
