| 全文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题的研究意义 | 第8-10页 |
| ·微制造隔振平台关键技术发展现状 | 第10-16页 |
| ·主动振动控制技术的发展 | 第11-14页 |
| ·主动振动控制中致动器的发展现状 | 第14-16页 |
| ·微制造隔振平台国内外研究现状评述 | 第16-17页 |
| ·论文研究内容及项目来源 | 第17-20页 |
| 第二章 微制造隔振平台结构仿生学设计 | 第20-31页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·微制造隔振平台仿生结构设计 | 第20-23页 |
| ·仿生学概论 | 第20-21页 |
| ·仿生学研究方法 | 第21-22页 |
| ·仿生学的工程实例 | 第22-23页 |
| ·微制造隔振平台仿生结构设计 | 第23页 |
| ·致动器安装方式合理性分析 | 第23-30页 |
| ·致动器仅作用于微制造平台时的动力学分析 | 第24-26页 |
| ·致动器安装于平台底座与地基之间时的动力学分析 | 第26-27页 |
| ·致动器安装于微制造隔振平台与底座之间时的动力学分析 | 第27-29页 |
| ·结论 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 微制造隔振平台控制系统设计及仿真分析 | 第31-45页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·微机数字PID控制算法分析 | 第31-36页 |
| ·PID算法及其数字化的实现 | 第32-34页 |
| ·PID算法程序设计 | 第34-36页 |
| ·PID控制算法中积分项的处理 | 第36-40页 |
| ·抑制积分饱和作用的算法 | 第36-38页 |
| ·消除积分量化误差的PID算法 | 第38页 |
| ·变速积分的PID算法 | 第38-40页 |
| ·微制造隔振平台控制系统的动力学模型 | 第40-41页 |
| ·微制造隔振平台的F-PID主动振动控制系统 | 第41-43页 |
| ·仿真分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 微制造隔振平台的主动振动控制软件设计 | 第45-57页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·面向对象的系统分析与设计方法 | 第45-48页 |
| ·面向对象程序设计基本概念 | 第45-46页 |
| ·面向对象的系统分析与设计方法 | 第46-48页 |
| ·操作系统和编程语言的选用 | 第48-50页 |
| ·操作系统的选择 | 第48-49页 |
| ·程序开发工具的选择 | 第49-50页 |
| ·微制造隔振平台主动振动控制软件的结构组成 | 第50-56页 |
| ·整体框架的实现思想及流程图 | 第51页 |
| ·PID控制的实现及流程图 | 第51-54页 |
| ·各输出数据项的显示及流程图 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 微制造隔振平台振动控制系统实验研究 | 第57-70页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·微制造隔振平台被动隔振实验研究 | 第57-64页 |
| ·微制造隔振平台被动隔振实验系统 | 第57-59页 |
| ·微制造隔振平台被动隔振实验结果及分析 | 第59-64页 |
| ·微制造隔振平台振动主动控制实验系统 | 第64-65页 |
| ·PCL812数据采集卡 | 第64页 |
| ·功放系统 | 第64-65页 |
| ·微制造隔振平台PID主动振动控制实验 | 第65-68页 |
| ·实验结果分析与讨论 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 结论与展望 | 第70-72页 |
| ·主要结论 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表和待刊出的论文 | 第78页 |