| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1．1 课题的研究意义 | 第8页 |
| 1．2 微定位技术的国内外研究现状 | 第8-14页 |
| 1．2．1 机械传动式微定位机构 | 第9-10页 |
| 1．2．2 弹性变形传动式微定位机构 | 第10页 |
| 1．2．3 直线电机式微定位机构 | 第10-11页 |
| 1．2．4 形状记忆合金微定位机构 | 第11页 |
| 1．2．5 磁致伸缩微定位机构 | 第11-12页 |
| 1．2．6 柔性铰链式微定位机构 | 第12页 |
| 1．2．7 压电微定位机构 | 第12-14页 |
| 1．3 本文主要内容 | 第14-16页 |
| 2 微定位系统定位原理与位姿控制模型研究 | 第16-22页 |
| 2．1 微定位工作台定位原理 | 第16-20页 |
| 2．2 位姿控制模型 | 第20-22页 |
| 3 微定位工作台机构设计 | 第22-24页 |
| 4 微定位工作台控制系统研究 | 第24-48页 |
| 4．1 压电陶瓷简介 | 第24-25页 |
| 4．2 PZT微驱动器特性与改善措施研究 | 第25-32页 |
| 4．2．1 位移特性 | 第25-28页 |
| 4．2．2 迟滞特性 | 第28-29页 |
| 4．2．3 蠕变特性 | 第29页 |
| 4．2．4 输出力—位移特性 | 第29-31页 |
| 4．2．5 非线性 | 第31页 |
| 4．2．6 温度特性 | 第31-32页 |
| 4．2．7 位移重复性研究 | 第32页 |
| 4．3 PZT微驱动器控制方案的分析比较 | 第32-36页 |
| 4．3．1 平均曲线法 | 第33页 |
| 4．3．2 自学习控制 | 第33-34页 |
| 4．3．3 前馈控制法 | 第34-35页 |
| 4．3．4 软件补偿控制法 | 第35-36页 |
| 4．3．5 闭环控制 | 第36页 |
| 4．4 控制系统组成 | 第36-41页 |
| 4．4．1 位移测量元件 | 第37-39页 |
| 4．4．2 D/A转换卡 | 第39-41页 |
| 4．5 PZT微驱动器驱动电源研究 | 第41-45页 |
| 4．5．1 驱动电源的技术要求 | 第41-42页 |
| 4．5．2 PZT驱动电源方案分析比较 | 第42-43页 |
| 4．5．3 本文采用的PZT微驱动器驱动电源工作原理分析 | 第43-45页 |
| 4．6 微定位工作台定位的实现 | 第45-48页 |
| 4．6．1 控制模型 | 第45-46页 |
| 4．6．2 控制软件 | 第46-48页 |
| 5 微定位工作台实验研究 | 第48-54页 |
| 5．1 实验设计 | 第48-49页 |
| 5．2 实验结果 | 第49-52页 |
| 5．3 误差分析与改进 | 第52-54页 |
| 6 全文总结 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 附录A 作者在攻读硕士学位期间所发表的论文目录 | 第58-59页 |
| 附录B PZT微驱动器电压—位移特性实测曲线 | 第59-61页 |