| 第一章 绪论 | 第1-25页 |
| ·本项目研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| ·微位移系统的构成 | 第9-21页 |
| ·概述 | 第9-10页 |
| ·微位移驱动器及其优缺点 | 第10-15页 |
| ·机械式微位移驱动器 | 第10-11页 |
| ·电热式微位移驱动器 | 第11-12页 |
| ·电磁式微位移驱动器 | 第12页 |
| ·形状记忆合金驱动器 | 第12页 |
| ·超磁致伸缩微位移驱动器 | 第12-13页 |
| ·压电陶瓷微位移驱动器 | 第13-15页 |
| ·导轨形式及其特点 | 第15-16页 |
| ·检测装置 | 第16-17页 |
| ·控制系统 | 第17-21页 |
| ·PID控制 | 第18页 |
| ·自适应控制 | 第18-19页 |
| ·神经网络控制 | 第19-20页 |
| ·压电驱动非线性及滞回控制分析 | 第20-21页 |
| ·国内外微位移工作台的研究现状 | 第21-24页 |
| ·柔性支承-压电陶瓷驱动的微位移工作台 | 第21-23页 |
| ·超磁致伸缩材料驱动的微位移工作台 | 第23页 |
| ·其它形式的微位移工作台 | 第23-24页 |
| ·本文的研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 空间微位移系统的设计和性能研究 | 第25-56页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·空间微位移平台设计 | 第25-41页 |
| ·概述 | 第25页 |
| ·柔性铰链设计 | 第25-31页 |
| ·引言 | 第25-26页 |
| ·柔性铰链的力学模型 | 第26-27页 |
| ·柔性铰链参数设计分析 | 第27-29页 |
| ·柔性铰链的有限元验证 | 第29-31页 |
| ·平台结构分析 | 第31-34页 |
| ·平行四杆机构导向性能分析 | 第31-32页 |
| ·微位移机构的静态刚度K | 第32-33页 |
| ·弱截面处的最大应力σ | 第33页 |
| ·微位移机构的固有频率 | 第33-34页 |
| ·三维微位移平台的设计 | 第34-38页 |
| ·平台设计 | 第34-36页 |
| ·平台的有限元分析 | 第36-38页 |
| ·平台特性的实验研究 | 第38-41页 |
| ·微位移平台的刚度 | 第38页 |
| ·微位移平台的静态特性 | 第38页 |
| ·微位移平台的固有频率 | 第38-39页 |
| ·微位移平台X、Y向的位移耦合性 | 第39-40页 |
| ·微位移平台的负载特性 | 第40-41页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性研究 | 第41-47页 |
| ·压电驱动器伸缩机理分析 | 第41-43页 |
| ·压电与电致伸缩效应 | 第41-42页 |
| ·压电效应和电致伸缩效应的微观机理 | 第42-43页 |
| ·电致伸缩型压电驱动器描述 | 第43页 |
| ·WTDS-IA型压电驱动器的特性 | 第43-47页 |
| ·概述 | 第43-44页 |
| ·WTDS-IA型压电驱动器的力位移特性 | 第44-45页 |
| ·WTDS-IA型压电驱动器的电压位移特性 | 第45-47页 |
| ·WTDS-IA型压电驱动器的重复性 | 第47页 |
| ·WTDS-IA型压电驱动器的稳定性 | 第47页 |
| ·压电陶瓷驱动电源设计 | 第47-54页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·压电陶瓷驱动电源应具有的特点 | 第48页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的原理 | 第48-49页 |
| ·直流放大式驱动电路设计 | 第49-52页 |
| ·工作原理 | 第49页 |
| ·高压稳压电路 | 第49-50页 |
| ·放大电路 | 第50-51页 |
| ·放电回路 | 第51-52页 |
| ·驱动电源的性能测试和实验分析 | 第52-54页 |
| ·线性度 | 第52页 |
| ·分辨率 | 第52-53页 |
| ·输出电压波纹 | 第53页 |
| ·电源的阶跃响应特性 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第三章 空间微位移系统的数学模型及压电驱动器电源线性化 | 第56-76页 |
| ·空间微位移平台测控系统的建立 | 第56-60页 |
| ·概述 | 第56页 |
| ·PCL-812卡概述 | 第56-57页 |
| ·PCL-812卡的特点 | 第56-57页 |
| ·D／A转换器说明 | 第57页 |
| ·A／D转换器说明 | 第57页 |
| ·8253说明 | 第57页 |
| ·压电驱动器及驱动电源 | 第57-58页 |
| ·位移传感器 | 第58页 |
| ·软件说明 | 第58-60页 |
| ·操作系统的选择 | 第58-59页 |
| ·程序开发工具的选择 | 第59-60页 |
| ·控制软件的总体结构 | 第60页 |
| ·压电驱动器非线性滞回的PREISACH模型建立 | 第60-64页 |
| ·概述 | 第60页 |
| ·Preisach模型的建立 | 第60-63页 |
| ·Preisach模型的实验建立 | 第63-64页 |
| ·微位移平台的数学模型建立 | 第64-66页 |
| ·基于ILC的压电驱动器的电源线性化方法 | 第66-74页 |
| ·概述 | 第66-67页 |
| ·迭代自学习控制算法 | 第67-68页 |
| ·迭代自学习控制算法收敛速度讨论 | 第68-71页 |
| ·学习律 | 第69-70页 |
| ·学习律参数 | 第70-71页 |
| ·改进的迭代自学习算法 | 第71页 |
| ·闭环迭代自学习算法 | 第71-74页 |
| ·概述 | 第71页 |
| ·闭环迭代自学习控制在正弦波情况下的应用 | 第71-73页 |
| ·闭环迭代自学习控制在三角波情况下的应用 | 第73-74页 |
| ·结论 | 第74页 |
| ·迭代自学习控制线性化的实验结果 | 第74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第四章 空间微位移平台精密定位控制研究 | 第76-87页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·空间微位移平台的开环精密定位控制研究 | 第76-79页 |
| ·概述 | 第76-77页 |
| ·基于ILC线性化方法的开环定位控制 | 第77-78页 |
| ·基于Preisach模型的开环定位控制 | 第78-79页 |
| ·空间微位移平台的闭环精密定位控制研究 | 第79-85页 |
| ·概述 | 第79-80页 |
| ·PID制算法理论 | 第80-82页 |
| ·PID控制算法数学模型 | 第80-81页 |
| ·PID控制参数对控制效果的影响 | 第81-82页 |
| ·PID控制在闭环精密定位控制中的应用 | 第82-85页 |
| ·PID控制器设计 | 第82页 |
| ·PID控制算法实现闭环控制的实验研究 | 第82-85页 |
| ·低频信号干扰下的精密定位控制研究 | 第85-86页 |
| ·概述 | 第85页 |
| ·实验研究 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第五章 结论与展望 | 第87-89页 |
| ·结论 | 第87-88页 |
| ·展望 | 第88-89页 |
| 附图 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-95页 |
| 攻读硕士学位期间已发表(投寄)的论文 | 第95页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96页 |