| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1．1 课题研究的背景与意义 | 第12-13页 |
| 1．2 振动主动控制技术国内外研究现状与发展 | 第13-19页 |
| 1．2．1 主动振动控制中致动器与传感器的研究 | 第14-16页 |
| 1．2．2 系统建模与模型简化 | 第16页 |
| 1．2．3 主动振动控制中控制器的研究 | 第16-17页 |
| 1．2．4 主动振动控制中传感器/致动器的优化配置 | 第17-19页 |
| 1．3 微制造平台隔振技术国内外发展现状 | 第19-20页 |
| 1．4 论文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 微制造平台主动隔振系统设计与动力学分析 | 第22-46页 |
| 2．1 仿生隔振原理研究 | 第22-26页 |
| 2．1．1 仿生学概论 | 第22页 |
| 2．1．2 仿生学研究方法和工程实例 | 第22-24页 |
| 2．1．3 啄木鸟头部构造及其隔振机理 | 第24-26页 |
| 2．2 微制造平台主动隔振系统设计 | 第26-28页 |
| 2．2．1 微制造平台隔振系统仿生原理设计 | 第26页 |
| 2．2．2 微制造平台主动隔振系统结构设计 | 第26-28页 |
| 2．3 微制造平台主动隔振系统振动模型及其动力学方程 | 第28-31页 |
| 2．3．1 振动模型与动力学方程 | 第28-30页 |
| 2．3．2 动力学方程的简化 | 第30-31页 |
| 2．4 微制造平台主动隔振系统的动力学分析 | 第31-40页 |
| 2．4．1 基础干扰作用下的振动传递率 | 第31-34页 |
| 2．4．2 基础干扰与直接干扰同时作用时的振动传递率 | 第34-40页 |
| 2．5 空气弹簧及其振动模型 | 第40-42页 |
| 2．5．1 空气弹簧的特点 | 第40-41页 |
| 2．5．2 空气弹簧的刚度计算 | 第41页 |
| 2．5．3 空气弹簧的振动模型 | 第41-42页 |
| 2．6 微制造平台隔振系统实验模态分析 | 第42-45页 |
| 2．6．1 模态分析理论 | 第42-44页 |
| 2．6．2 模态分析实验 | 第44页 |
| 2．6．3 微制造平台隔振系统的模态坐标运动方程 | 第44-45页 |
| 2．7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 微制造平台主动隔振系统优化研究 | 第46-61页 |
| 3．1 主动控制系统致动器的优化配置 | 第46-48页 |
| 3．2 主动控制系统传感器的优化配置 | 第48-49页 |
| 3．3 微制造平台双层隔振系统致动器安装方式合理性分析 | 第49-55页 |
| 3．3．1 致动器仅作用于隔振对象时的动力学分析 | 第49-51页 |
| 3．3．2 致动器安装于中间质量与基础之间时的动力学分析 | 第51-52页 |
| 3．3．3 致动器安装于隔振对象与中间质量之间时的动力学分析 | 第52-54页 |
| 3．3．4 结论 | 第54-55页 |
| 3．4 基于遗传算法的主动控制系统反馈参数优化 | 第55-60页 |
| 3．4．1 主动控制系统优化模型 | 第55-56页 |
| 3．4．2 基于遗传算法的主动控制系统反馈参数优化 | 第56-57页 |
| 3．4．3 主动控制系统反馈参数优化结果 | 第57-60页 |
| 3．5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 超磁致伸缩致动器非线性模型与特性研究 | 第61-73页 |
| 4．1 超磁致伸缩材料 | 第61-62页 |
| 4．2 超磁致伸缩致动器的结构与磁路设计 | 第62-65页 |
| 4．2．1 超磁致伸缩致动器的结构 | 第62-63页 |
| 4．2．2 磁路分析与设计 | 第63页 |
| 4．2．3 空心线圈绕组的设计 | 第63-64页 |
| 4．2．4 偏置磁场的大小 | 第64-65页 |
| 4．3 超磁致伸缩致动器的静态特性 | 第65-68页 |
| 4．3．1 电流-输出位移 | 第65-66页 |
| 4．3．2 预压力-输出位移 | 第66-67页 |
| 4．3．3 电流-输出力 | 第67页 |
| 4．3．4 滞回性 | 第67-68页 |
| 4．4 超磁致伸缩致动器的动态特性 | 第68-71页 |
| 4．4．1 超磁致伸缩致动器动态位移输出特性 | 第68-69页 |
| 4．4．2 超磁致伸缩致动器的动态驱动力输出特性 | 第69-71页 |
| 4．5 超磁致伸缩致动器的非线性模型与分析 | 第71-72页 |
| 4．6 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 微制造平台振动主动控制算法的比较研究 | 第73-94页 |
| 5．1 微制造平台振动的 P功控制 | 第73-76页 |
| 5．1．1 数字 PID控制 | 第73-74页 |
| 5．1．2 微制造平台振动的 PID控制仿真研究 | 第74-76页 |
| 5．2 微制造平台振动的 LQG控制 | 第76-78页 |
| 5．2．1 微制造平台振动的 LQG控制模型 | 第76-77页 |
| 5．2．2 微制造平台振动的 LQG控制仿真研究 | 第77-78页 |
| 5．3 微制造平台振动的 H_∞控制 | 第78-82页 |
| 5．3．1 H_∞控制理论 | 第78-79页 |
| 5．3．2 微制造平台振动的 H_∞控制器的设计 | 第79-81页 |
| 5．3．3 微制造平台振动的 H_∞控制仿真研究 | 第81-82页 |
| 5．4 微制造平台振动的模糊控制 | 第82-87页 |
| 5．4．1 模糊控制的基本概念 | 第82-83页 |
| 5．4．2 微制造平台振动的模糊控制器设计 | 第83-85页 |
| 5．4．3 微制造平台振动的模糊控制仿真研究 | 第85-87页 |
| 5．5 微制造平台振动的神经网络控制 | 第87-89页 |
| 5．5．1 微制造平台振动的神经网络控制模型 | 第87-88页 |
| 5．5．2 微制造平台振动的神经网络控制仿真研究 | 第88-89页 |
| 5．6 控制算法的比较 | 第89-93页 |
| 5．7 本章小结 | 第93-94页 |
| 第六章 微制造平台振动的模糊广义预测控制研究 | 第94-113页 |
| 6．1 广义预测控制理论 | 第94-96页 |
| 6．2 改进的自适应加权广义预测控制 | 第96-102页 |
| 6．2．1 改进的加权广义预测控制 | 第96-99页 |
| 6．2．2 自适应广义预测控制直接算法 | 第99-102页 |
| 6．3 模糊广义预测控制 | 第102-104页 |
| 6．3．1 模糊广义预测控制模型 | 第102页 |
| 6．3．2 加权系数调节器 | 第102-104页 |
| 6．4 微制造平台振动的模糊广义预测控制律的设计 | 第104-106页 |
| 6．4．1 微制造平台隔振系统运动方程的离散化 | 第104-105页 |
| 6．4．2 微制造平台隔振系统模糊广义预测控制律的设计 | 第105-106页 |
| 6．5 微制造平台振动控制系统稳定性分析 | 第106-109页 |
| 6．5．1 一步预测控制的稳定性分析 | 第106-108页 |
| 6．5．2 改进型加权广义预测控制的稳定性分析 | 第108-109页 |
| 6．6 微制造平台振动的模糊广义预测控制仿真 | 第109-112页 |
| 6．6．1 模糊广义预测控制仿真与性能分析 | 第109-111页 |
| 6．6．2 微制造平台振动的模糊广义预测控制仿真 | 第111-112页 |
| 6．7 本章小结 | 第112-113页 |
| 第七章 微制造平台振动主动控制实验研究 | 第113-120页 |
| 7．1 微制造平台振动主动控制实验系统 | 第113-114页 |
| 7．2 微制造平台振动主动控制系统软件设计 | 第114-116页 |
| 7．3 微制造平台振动控制实验研究 | 第116-119页 |
| 7．3．1 正弦激励振动控制实验 | 第116-118页 |
| 7．3．2 基础干扰振动控制实验 | 第118-119页 |
| 7．4 本章小结 | 第119-120页 |
| 第八章 结论与展望 | 第120-123页 |
| 8．1 主要结论 | 第120-121页 |
| 8．2 展望 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-133页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文和参加科研情况 | 第133-134页 |
