MEMS-DMs（微机电系统变形反射镜）中的有限元分析
| 摘 要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪 论 | 第8-14页 |
| ·项目的研究背景 | 第8-11页 |
| ·课题综述 | 第11-12页 |
| ·本项目需要解决的问题 | 第12页 |
| ·MEMS技术简介 | 第12-13页 |
| ·小节 | 第13-14页 |
| 2 有限元网格划分 | 第14-31页 |
| ·有限元发展概述和分析步骤 | 第14-16页 |
| ·划分网格的大致要求 | 第16-17页 |
| ·网格生成算法的发展现状 | 第17-22页 |
| ·Delaunay三角形网格划分 | 第22-30页 |
| ·小节 | 第30-31页 |
| 3 薄板有限元的理论分析 | 第31-44页 |
| ·薄板的基本理论 | 第31-34页 |
| ·薄板正方形单元 | 第34-40页 |
| ·静电与力的耦合理论 | 第40-43页 |
| ·小节 | 第43-44页 |
| 4 平板变形计算 | 第44-57页 |
| ·使用Matlab计算 | 第44-49页 |
| ·使用Ansys计算 | 第49-56页 |
| ·小节 | 第56-57页 |
| 5 其他工作 | 第57-64页 |
| ·哈特曼-夏克(H-S)传感器的工作原理 | 第57-59页 |
| ·波前重构原理 | 第59-62页 |
| ·实验理论 | 第62-63页 |
| ·小节 | 第63-64页 |
| 6 总结 | 第64-65页 |
| 致 谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第69页 |
