MEMS三维动态测试系统中数据处理技术的研究与实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·选题意义及背景 | 第8-9页 |
| ·MEMS动态特性测试技术研究现状及发展趋势 | 第9-14页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 MEMS三维动态测量原理 | 第15-22页 |
| ·光学系统组成及光路分析 | 第15-17页 |
| ·表面形貌测量原理 | 第17-18页 |
| ·全三维运动测量原理 | 第18-19页 |
| ·计算机精确同步控制 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 图像降噪方法研究 | 第22-32页 |
| ·普通滤波方法 | 第22-24页 |
| ·旋滤波算法 | 第24-27页 |
| ·SUSAN滤波 | 第27-29页 |
| ·图像预处理方案 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-32页 |
| 4 基于模板匹配的面内运动位移测量方法 | 第32-45页 |
| ·模板匹配的基本原理 | 第32-34页 |
| ·基于模板匹配的亚像素定位技术 | 第34-38页 |
| ·提高匹配速度 | 第38-41页 |
| ·面内运动位移高速高精计算方案 | 第41-42页 |
| ·面内运动位移算法的精度验证实验 | 第42-43页 |
| ·硅微陀螺仪的振动测量实验 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 基于频闪干涉的离面运动测量技术 | 第45-61页 |
| ·传统相位去包裹算法 | 第45-48页 |
| ·路径跟踪去包裹算法 | 第48-55页 |
| ·路径无关去包裹算法 | 第55-57页 |
| ·离面运动测量算法 | 第57-58页 |
| ·离面运动测量实验 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 6 MEMS三维动态测试系统简介 | 第61-70页 |
| ·测试系统软件的总体框架 | 第61-62页 |
| ·相位图数据存储技术 | 第62-63页 |
| ·基于OpenGL的三维显示技术 | 第63-66页 |
| ·计算机精确同步控制技术 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 7 总结与展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第77页 |
