基于PZT微定位系统控制研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·微定位系统的构成及其分类 | 第12-16页 |
| ·微定位机构 | 第12页 |
| ·微位移驱动器 | 第12-13页 |
| ·微定位机构中的导轨 | 第13-14页 |
| ·检测装置及控制系统 | 第14-15页 |
| ·微定位系统的分类 | 第15-16页 |
| ·基于柔性铰链压电陶瓷驱动的微定位系统研究现状 | 第16-23页 |
| ·微位移机构的研究现状 | 第17-20页 |
| ·控制系统的研究现状 | 第20-23页 |
| ·本文的研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 微动工作台的设计 | 第25-43页 |
| ·柔性铰链设计 | 第25-29页 |
| ·柔性铰链的力学分析 | 第25-28页 |
| ·正圆型柔性铰链 | 第28-29页 |
| ·平台结构分析 | 第29-31页 |
| ·平行四杆结构运动特性 | 第29-31页 |
| ·微位移机构的静态刚度K | 第31页 |
| ·微动工作台的设计 | 第31-42页 |
| ·设计要求 | 第31-32页 |
| ·有限元分析方法 | 第32-34页 |
| ·有限元分析的微动工作台的设计、结构分析与优化 | 第34-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 压电微位移器特性研究 | 第43-56页 |
| ·压电效应与电致伸缩效应 | 第43-45页 |
| ·压电陶瓷缩微位移器 | 第45-46页 |
| ·压电陶瓷微位移器特性分析 | 第46-54页 |
| ·迟滞特性 | 第47-49页 |
| ·蠕变特性 | 第49-51页 |
| ·非线性特性 | 第51-52页 |
| ·温度特性 | 第52页 |
| ·负载特性 | 第52-53页 |
| ·动态特性 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 压电陶瓷建模与实验方法研究 | 第56-72页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·压电陶瓷产生迟滞的机理 | 第56-60页 |
| ·压电陶瓷的极化机制 | 第56-58页 |
| ·压电陶瓷的迟滞原理 | 第58-60页 |
| ·滞回曲线的小数指数幂曲线近似法 | 第60-61页 |
| ·循环滞回模型 | 第61-62页 |
| ·非线性迟滞效应的广义模型 | 第62-63页 |
| ·压电陶瓷的Preisach模型 | 第63-68页 |
| ·Preisach模型的实验研究 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第5章 微定位控制实验系统研制 | 第72-78页 |
| ·微定位控制实验系统的总体构成 | 第72-73页 |
| ·系统组成部分的设计与选取 | 第73-76页 |
| ·微位移机构选取和设计 | 第73页 |
| ·压电陶瓷微位移器驱动电源选取与工作原理 | 第73-74页 |
| ·检测装置和传感器的选择 | 第74-75页 |
| ·A／D数据采集卡的选取 | 第75-76页 |
| ·计算机控制软件 | 第76页 |
| ·系统测试 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第6章 压电陶瓷微位移系统控制方法的研究 | 第78-94页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·微位移系统数学模型建立 | 第78-80页 |
| ·压电陶瓷微位移驱动器传递函数 | 第78页 |
| ·精密定位工作台传递函数 | 第78-79页 |
| ·驱动系统传递函数 | 第79页 |
| ·微位移系统的传递函数 | 第79-80页 |
| ·基于模型的微位移系统开环控制 | 第80-81页 |
| ·微位移系统PID控制研究 | 第81-88页 |
| ·PID控制思想 | 第81-83页 |
| ·PID控制器设计 | 第83-84页 |
| ·PID控制仿真和实验研究 | 第84-88页 |
| ·微位移系统的模糊控制研究 | 第88-91页 |
| ·模糊控制的思想 | 第88-89页 |
| ·模糊控制在压电陶瓷微位移系统中的应用 | 第89-91页 |
| ·微位移系统的自适应逆控制研究 | 第91-94页 |
| ·自适应逆控制的思想 | 第91-92页 |
| ·自适应逆控制在压电陶瓷微位移系统中的应用 | 第92-94页 |
| ·本章小结 | 第94页 |
| 第7章 总结与展望 | 第94-96页 |
| 硕士期间发表论文 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
