| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract（英文摘要） | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-13页 |
| 1．1 课题目的和意义 | 第7-8页 |
| 1．2 国际国内研究状况和进展 | 第8-11页 |
| 1．3 论文各部分的主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 表面弹性波马达的理论 | 第13-46页 |
| 2．1 表面弹性波马达的原理 | 第13-16页 |
| 2．2 表面弹性波的机理与性质 | 第16-35页 |
| 2．2．1 介质中的弹性波方程 | 第16-18页 |
| 2．2．2 压电介质中的弹性体波 | 第18-19页 |
| 2．2．3 介质中的表面弹性波 | 第19-28页 |
| 2．2．4 表面弹性波的波束偏向 | 第28-29页 |
| 2．2．5 表面弹性波的衍射 | 第29-33页 |
| 2．2．6 平板波模式与表面弹性波 | 第33-35页 |
| 2．3 表面弹性波马达的接触传动分析 | 第35-39页 |
| 2．3．1 三种可能的接触传动机理 | 第35-37页 |
| 2．3．2 表面弹性波马达的运动模型 | 第37-39页 |
| 2．4 表面弹性波马达运动模型仿真 | 第39-46页 |
| 2．4．1 表面弹性波马达运动的仿真模型 | 第39-41页 |
| 2．4．2 表面弹性波马达运动的仿真结果与讨论 | 第41-46页 |
| 第三章 表面弹性波马达的设计与实现 | 第46-79页 |
| 3．1 表面弹性波换能器设计 | 第46-64页 |
| 3．1．1 叉指换能器的工作原理 | 第46-47页 |
| 3．1．2 叉指换能器的等效电路模型 | 第47-51页 |
| 3．1．3 声共振频率附近叉指换能器的性质 | 第51-56页 |
| 3．1．4 叉指换能器的频率响应特性 | 第56-57页 |
| 3．1．5 叉指换能器的电负载影响 | 第57-58页 |
| 3．1．6 叉指换能器的二阶效应 | 第58-59页 |
| 3．1．7 叉指换能器不良效应的消除 | 第59-61页 |
| 3．1．8 表面弹性波马达的叉指换能器 | 第61-64页 |
| 3．2 表面弹性波换能器的制作 | 第64-68页 |
| 3．2．1 光刻工艺 | 第64-65页 |
| 3．2．2 叉指换能器的制作 | 第65-68页 |
| 3．3 射频功率放大器 | 第68-75页 |
| 3．3．1 放大器电路的形式 | 第68-70页 |
| 3．3．2 放大器偏置 | 第70-71页 |
| 3．3．3 高频、大信号放大器的设计过程 | 第71-72页 |
| 3．3．4 表面弹性波马达的功率放大电路 | 第72-75页 |
| 3．4 表面弹性波马达机械结构 | 第75-77页 |
| 3．5 表面弹性波马达系统 | 第77-79页 |
| 第四章 表面弹性波马达的实验 | 第79-88页 |
| 4．1 表面弹性波马达换能器的输入阻抗 | 第79-82页 |
| 4．1．1 等效电路法测量原理 | 第79-80页 |
| 4．1．2 表面弹性波马达换能器的输入阻抗测量电路 | 第80页 |
| 4．1．3 表面弹性波马达换能器的输入电导纳图 | 第80-82页 |
| 4．2 表面弹性波的振幅测量 | 第82-85页 |
| 4．2．1 原子力显微镜振动测量的原理与方法 | 第82-83页 |
| 4．2．2 表面弹性波振幅测量的实验 | 第83-85页 |
| 4．3 表面弹性波马达速度的测量 | 第85-88页 |
| 第五章 总结与展望 | 第88-91页 |
| 5．1 总结 | 第88-89页 |
| 5．2 展望 | 第89-91页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |