多自由度压电式微位移机电系统的研究
| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| §1—1 课题来源及研究意义 | 第11-13页 |
| §1—2 MEMS的发展综述 | 第13-16页 |
| §1—3 本课题的研究思路及关键技术 | 第16-17页 |
| §1—4 本文主要研究内容及安排 | 第17-18页 |
| 第二章 微型机电系统及其相关技术 | 第18-25页 |
| §2—1 MEMS的组成原理 | 第18-22页 |
| §2—2 MEMS相关技术 | 第22-24页 |
| §2—3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 平面有限元及线性回归 | 第25-37页 |
| §3—1 引言 | 第25-26页 |
| §3—2 平面有限元分析方法 | 第26-32页 |
| §3—3 正交试验与线性回归 | 第32-36页 |
| §3—4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 多自由度压电式微位移系统 | 第37-48页 |
| §4—1 微位移系统的结构及工作原理 | 第37-42页 |
| §4—2 压电式多自由度微位移系统的研制 | 第42-47页 |
| §4—3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 柔性铰链的设计 | 第48-62页 |
| §5—1 引言 | 第48-49页 |
| §5—2 柔性铰链的选择 | 第49-50页 |
| §5—3 柔性铰链运动方程的理论分析 | 第50-53页 |
| §5—4 柔性铰链的有限元分析 | 第53-61页 |
| §5—5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 三自由度微动工作台设计 | 第62-67页 |
| §6—1 三自由度微动工作台的结构设计 | 第62-65页 |
| §6—2 微动工作台的有限元计算 | 第65-66页 |
| §6—3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第七章 结束语 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 在学期间发表的论文 | 第71页 |
| 致谢 | 第71页 |
