微夹持理论与系统的研究
| 第一章 绪论 | 第1-21页 |
| 1．1 微机电系统发展概况 | 第8-9页 |
| 1．2 微夹持技术及微夹持器发展现状 | 第9-19页 |
| 1．2．1 静电驱动微夹持器 | 第10-11页 |
| 1．2．2 压电驱动微夹持器 | 第11-12页 |
| 1．2．3 热驱动微夹持器 | 第12-14页 |
| 1．2．4 电磁驱动微夹持器 | 第14-16页 |
| 1．2．5 电致伸缩离子交换薄膜材料驱动微夹持器 | 第16页 |
| 1．2．6 复合结构微夹持器 | 第16-17页 |
| 1．2．7 其它工作原理的微操作工具 | 第17-18页 |
| 1．2．8 微夹持器发展小结 | 第18-19页 |
| 1．3 论文来源与任务 | 第19-20页 |
| 1．3．1 课题来源 | 第19-20页 |
| 1．3．2 论文主要任务 | 第20页 |
| 本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 微夹持器驱动技术研究 | 第21-44页 |
| 2．1 静电驱动 | 第21-29页 |
| 2．1．1 静电驱动基本原理 | 第21-24页 |
| 2．1．2 平板悬臂梁静电驱动 | 第24-25页 |
| 2．1．3 梳状静电驱动 | 第25-27页 |
| 2．1．4 静电驱动的边缘效应 | 第27-29页 |
| 2．2 热驱动 | 第29-32页 |
| 2．3 电磁驱动 | 第32-34页 |
| 2．4 压电驱动 | 第34-40页 |
| 2．4．1 位移放大机构的压电驱动 | 第34-36页 |
| 2．4．2 压电薄膜驱动 | 第36-40页 |
| 2．5 超磁致伸缩驱动 | 第40-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 微夹持器设计 | 第44-63页 |
| 3．1 微夹持器总体方案 | 第44-45页 |
| 3．2 结构设计 | 第45-56页 |
| 3．2．1 微夹持器布局形式 | 第45-48页 |
| 3．2．2 微夹持器结构参数设计 | 第48-54页 |
| 3．2．3 微夹持器工艺结构设计 | 第54-55页 |
| 3．2．4 微夹持器结构设计 | 第55-56页 |
| 3．3 微夹持特性分析与仿真 | 第56-62页 |
| 3．3．1 柔性结构对结构刚度的影响 | 第56-57页 |
| 3．3．2 夹持力分析 | 第57-59页 |
| 3．3．3 夹持臂模态分析 | 第59-61页 |
| 3．3．4 微夹持臂动态响应分析 | 第61页 |
| 3．3．5 夹持器工作电场模拟 | 第61-62页 |
| 本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 微夹持器加工工艺研究 | 第63-75页 |
| 4．1 微夹持器制作工艺设计 | 第63-67页 |
| 4．1．1 基本工艺 | 第63-65页 |
| 4．1．2 工艺设计 | 第65-67页 |
| 4．2 微夹持器制作工艺难点 | 第67页 |
| 4．3 工艺分析 | 第67-73页 |
| 4．3．1 结构设计对蚀刻的影响 | 第67-69页 |
| 4．3．2 蚀刻时间对结构的影响 | 第69-70页 |
| 4．3．3 硅片质量对器件的影响 | 第70-71页 |
| 4．3．4 硅－玻璃键合失效 | 第71-72页 |
| 4．3．5 金属键合层剥落 | 第72-73页 |
| 4．4 微夹持器微细加工结果 | 第73-74页 |
| 本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 微夹持器试验研究 | 第75-90页 |
| 5．1 微夹持器测试 | 第75-80页 |
| 5．1．1 试验准备与试验注意事项 | 第75页 |
| 5．1．2 微夹持器几何尺寸检测 | 第75-78页 |
| 5．1．3 微夹持器位移特性测试 | 第78-79页 |
| 5．1．4 微夹持器耐压测试 | 第79-80页 |
| 5．2 位移特性数据及处理 | 第80-86页 |
| 5．2．1 微夹持器图像数据处理 | 第80-83页 |
| 5．2．2 微夹持器位移特性 | 第83-86页 |
| 5．3 微夹持器特性分析 | 第86-88页 |
| 5．4 设计误差分析 | 第88-89页 |
| 本章小结 | 第89-90页 |
| 第六章 总结 | 第90-92页 |
| 6．1 论文工作主要内容 | 第90-91页 |
| 6．2 论文工作的主要贡献 | 第91页 |
| 6．3 对下步研究工作的建议 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-99页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第99页 |
| 在学期间发表的发明专利 | 第99页 |
| 个人简历 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100页 |
