| 第一章 绪论 | 第1-12页 |
| ·目前精密导轨比较 | 第8-10页 |
| ·弹性摩擦导轨 | 第8-9页 |
| ·液体静压导轨 | 第9-10页 |
| ·气体静压导轨 | 第10页 |
| ·目前气体静压导轨支承形式比较 | 第10-12页 |
| 第二章 环矩形负压吸附导轨副的设计计算 | 第12-34页 |
| ·负压气浮导轨副原理 | 第12-13页 |
| ·结构参数的换算 | 第13-14页 |
| ·压强和压力方程的建立 | 第14-17页 |
| ·吸附过程中真空吸力的计算 | 第17-19页 |
| ·负压吸附导轨气膜厚度的计算 | 第19-20页 |
| ·负压吸附气垫导轨的刚度计算 | 第20-21页 |
| ·负压吸附气垫导轨的角刚度计算 | 第21-22页 |
| ·压力比β的求解 | 第22-23页 |
| ·静态功率损失的计算 | 第23-24页 |
| ·最佳气膜厚度的计算 | 第24-25页 |
| ·自激振动的临界速度 | 第25-26页 |
| ·导轨副粗糙度与临界速度的关系 | 第26-28页 |
| ·导轨副粗糙度取值的优化计算 | 第28-30页 |
| ·优化计算的数学模型 | 第28-29页 |
| ·设计变量和约束条件 | 第29-30页 |
| ·优化求解方法 | 第30页 |
| ·气浮导轨误差的均化作用 | 第30-34页 |
| 第三章 开式负压吸附导轨副的设计和实际应用 | 第34-38页 |
| ·开式负压吸附导轨副的设计 | 第34-36页 |
| ·负压吸附导轨在长线阵TDICCD机械交错拼接中的实际应用 | 第36-38页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第38-48页 |
| ·负压吸附导轨运动平稳性试验 | 第38-43页 |
| ·测量方法原理 | 第38-40页 |
| ·测量数据和处理 | 第40-43页 |
| ·负压吸附导轨的刚度计算和刚度试验 | 第43-46页 |
| ·负压吸附导轨的理论刚度计算 | 第43页 |
| ·负压吸附导轨的刚度试验 | 第43-45页 |
| ·负压吸附导轨的角刚度试验 | 第45-46页 |
| ·负压吸附导轨动、静摩擦系数测量试验 | 第46-48页 |
| 第五章 结论与展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 硕士期间发表论文情况 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 附录1 结构参数关系计算程序(MATLAB语言) | 第53-55页 |
| 附录2 误差计算程序(MATLAB) | 第55-57页 |
| 附录3 刚度承载计算(MATLAB) | 第57-59页 |
| 附录4 测量试验实图 | 第59页 |