磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·微机电系统概述 | 第8-11页 |
| ·MEMS的发展历程 | 第8-10页 |
| ·MEMS的组成和特点 | 第10-11页 |
| ·微致动器的研究现状和应用 | 第11-17页 |
| ·微致动器与MEMS | 第11-12页 |
| ·微致动器的应用 | 第12-13页 |
| ·微致动的构成 | 第13-14页 |
| ·微致动器的设计技术 | 第14-17页 |
| ·选题的意义和主要研究内容 | 第17-19页 |
| ·选题的意义 | 第17页 |
| ·主要研究内容和思路 | 第17-19页 |
| 第二章 磁微致动技术 | 第19-39页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·微致动器概况 | 第19-20页 |
| ·典型微致动器的驱动原理及应用 | 第20-27页 |
| ·静电式微致动器 | 第20-21页 |
| ·压电式微致动器 | 第21-22页 |
| ·电磁式微致动器 | 第22-24页 |
| ·磁致伸缩式微致动器 | 第24-25页 |
| ·形状记忆合金(SMA)微致动 | 第25-26页 |
| ·热微致动器 | 第26-27页 |
| ·微致动器的尺度效应研究 | 第27-28页 |
| ·致动方式的比较 | 第28-29页 |
| ·平面线圈式磁微致动器 | 第29-35页 |
| ·磁微继电器 | 第30-31页 |
| ·滑动永磁体式线性微马达 | 第31页 |
| ·永磁体移动式的微装配致动器 | 第31-32页 |
| ·微磁拍 | 第32-33页 |
| ·U型磁微致动器 | 第33-34页 |
| ·电磁驱动的微泵 | 第34-35页 |
| ·物理模型的提出 | 第35-37页 |
| ·基本结构的提出 | 第35-36页 |
| ·悬臂梁式磁微致动器 | 第36-37页 |
| ·薄膜式磁微致动器 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 平面线圈的磁场分析和建模 | 第39-51页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·电磁场基本原理 | 第39-42页 |
| ·磁场分析 | 第39-41页 |
| ·磁力分析 | 第41-42页 |
| ·圆形平面线圈 | 第42-43页 |
| ·矩形平面线圈 | 第43-45页 |
| ·矩形线圈产生的磁场 | 第43-44页 |
| ·矩形和圆形线圈的比较 | 第44-45页 |
| ·圆形平面线圈的建模 | 第45-48页 |
| ·电流与线圈 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 悬臂梁式磁微致动器 | 第51-72页 |
| ·悬臂梁式的结构 | 第51-52页 |
| ·设计分析 | 第52-53页 |
| ·平面线圈的设计 | 第52页 |
| ·磁体的设计 | 第52页 |
| ·悬臂梁的设计 | 第52-53页 |
| ·悬臂梁的数学建模 | 第53-54页 |
| ·参数匹配分析 | 第54-61页 |
| ·匹配方法 | 第55-57页 |
| ·匹配分析和结果 | 第57-61页 |
| ·数值模拟 | 第61-67页 |
| ·线圈电流的分析 | 第62页 |
| ·线圈尺寸设计 | 第62页 |
| ·磁体的设计 | 第62-63页 |
| ·有限元分析 | 第63-67页 |
| ·实例分析 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第五章 薄膜式磁微致动器 | 第72-89页 |
| ·致动器结构 | 第72页 |
| ·数学模型 | 第72-75页 |
| ·参数匹配分析 | 第75-81页 |
| ·数值模拟分析 | 第81-87页 |
| ·磁体设计 | 第81页 |
| ·薄膜设计 | 第81-82页 |
| ·线圈设计 | 第82-83页 |
| ·设计结果 | 第83页 |
| ·有限元分析 | 第83-87页 |
| ·本章小结 | 第87-89页 |
| 第六章 结论与展望 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-97页 |
