超精密微位移系统研究
| 第一章 绪论 | 第1-27页 |
| ·研究微位移系统的背景和意义 | 第9-10页 |
| ·微位移系统的构成 | 第10-21页 |
| ·微位移系统总体结构 | 第10页 |
| ·微位移驱动器及其优缺点 | 第10-15页 |
| ·导轨形式及其特点 | 第15-17页 |
| ·检测装置 | 第17-19页 |
| ·控制系统 | 第19-21页 |
| ·国内外微动工作台研究现状 | 第21-26页 |
| ·柔性支承--压电陶瓷驱动 | 第21-24页 |
| ·超磁致伸缩材料驱动的微动工作台 | 第24页 |
| ·其它形式的微动工作台 | 第24-26页 |
| ·本文的研究内容 | 第26-27页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动器特性研究 | 第27-44页 |
| ·驱动器伸缩机理分析 | 第27-30页 |
| ·压电与电致伸缩效应 | 第27-28页 |
| ·压电效应和电致伸缩效应的微观机理 | 第28-29页 |
| ·电致伸缩型压电驱动器描述 | 第29-30页 |
| ·WTDS-IA型压电驱动器的静态特性 | 第30-35页 |
| ·概述 | 第30页 |
| ·力位移特性 | 第30-32页 |
| ·电压位移特性 | 第32-34页 |
| ·重复性 | 第34-35页 |
| ·稳定性 | 第35页 |
| ·压电驱动器的电源线性化方法 | 第35-37页 |
| ·驱动器非线性滞回模型的建立 | 第37-43页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·Preisach模型的建立 | 第37-41页 |
| ·实验研究 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动电源设计 | 第44-53页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的特点 | 第44-45页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的原理 | 第45-46页 |
| ·直流放大式驱动电路设计 | 第46-49页 |
| ·工作原理 | 第46页 |
| ·计算机接口 | 第46-47页 |
| ·高压稳压电路 | 第47-48页 |
| ·放大电路 | 第48-49页 |
| ·放电回路 | 第49页 |
| ·驱动电源的性能测试和实验分析 | 第49-52页 |
| ·线性度 | 第49-50页 |
| ·分辨率 | 第50-51页 |
| ·输出电压波纹 | 第51页 |
| ·电源的阶跃响应特性 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 微动平台设计及特性研究 | 第53-70页 |
| ·柔性铰链设计 | 第53-59页 |
| ·概述 | 第53页 |
| ·柔性铰链的力学模型 | 第53-55页 |
| ·正圆铰链各参数对转角刚度的影响 | 第55-57页 |
| ·有限元验证 | 第57-59页 |
| ·平台结构分析 | 第59-63页 |
| ·平行四杆机构导向性能分析 | 第59-60页 |
| ·微位移机构的静态刚度K | 第60-61页 |
| ·弱截面处的最大应力σ | 第61-62页 |
| ·微位移机构的固有频率 | 第62-63页 |
| ·三维微动平台的设计 | 第63-67页 |
| ·平台设计 | 第63-65页 |
| ·有限元分析 | 第65-67页 |
| ·平台特性的实验研究 | 第67-69页 |
| ·微动平台的刚度 | 第67-68页 |
| ·微动平台的静态特性 | 第68页 |
| ·微动平台的固有频率 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 微动平台精密定位控制研究 | 第70-79页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·微位移系统的模型建立 | 第70-71页 |
| ·开环定位控制研究 | 第71-73页 |
| ·PID反馈控制研究 | 第73-78页 |
| ·PID控制的实现思想 | 第73-75页 |
| ·PID参数对系统误差的影响 | 第75页 |
| ·PID控制器设计 | 第75-76页 |
| ·实验研究 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 结论与展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间已发表(投寄)论文 | 第84页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
