| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·纳米级热驱动部件研究的背景与意义 | 第9-11页 |
| ·超精密加工的发展状况 | 第9-10页 |
| ·超精密加工的加工条件 | 第10-11页 |
| ·基于热变形的驱动方案的研究意义 | 第11页 |
| ·LMI与鲁棒控制理论的起源与发展 | 第11-15页 |
| ·线性矩阵不等式(LMI)的产生与发展 | 第11-12页 |
| ·鲁棒控制理论的起源与发展 | 第12-14页 |
| ·H_∞控制器的求解方法比较 | 第14-15页 |
| ·课题的提出及本论文的安排 | 第15-18页 |
| 第二章 纳米级热驱动部件及其控制平台 | 第18-26页 |
| ·基于热变形的纳米级热驱动部件 | 第18-21页 |
| ·基于热变形的驱动方案的理论基础 | 第18-19页 |
| ·半导体致冷器在热驱动中的应用 | 第19页 |
| ·高精度位移传感器在纳米级位移测量中的使用 | 第19-20页 |
| ·纳米级热驱动部件的安装结构 | 第20-21页 |
| ·纳米级驱动部件控制平台 | 第21-24页 |
| ·基于 PC机和单片机的控制平台 | 第21-22页 |
| ·上位机和下位机通讯协议介绍 | 第22-23页 |
| ·纳米级驱动部件控制平台的软件实现 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 温度干扰下的热驱动部件数学模型建立 | 第26-33页 |
| ·分步拟合法在建立数学模型中的运用 | 第26-27页 |
| ·功率输入热位移输出传递函数的建立 | 第27-29页 |
| ·温度干扰热位移输出传递函数的建立 | 第29-31页 |
| ·温度干扰下的热驱动部件数学模型 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 基于 LMI的鲁棒H_∞控制基础理论 | 第33-45页 |
| ·LMI线性矩阵不等式 | 第33-35页 |
| ·线性矩阵不等式的一般表示 | 第33-34页 |
| ·一些标准的线性矩阵不等式问题 | 第34页 |
| ·关于矩阵不等式的一个有用结论 | 第34-35页 |
| ·H_∞鲁棒控制理论基础 | 第35-40页 |
| ·鲁棒控制与鲁棒稳定性 | 第35-36页 |
| ·H_∞鲁棒控制理论的实质 | 第36-37页 |
| ·H_∞范数及其性能 | 第37-38页 |
| ·H_∞标准设计问题 | 第38-40页 |
| ·基于 LMI方法状态反馈H_∞控制设计方法 | 第40-41页 |
| ·基于 LMI方法输出反馈H_∞控制设计方法 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 纳米级热驱动部件LMI鲁棒控制设计 | 第45-58页 |
| ·热驱动部件抗干扰控制问题与H_∞标准设计问题的转换 | 第45-47页 |
| ·热驱动部件状态反馈鲁棒控制器设计 | 第47-51页 |
| ·热驱动部件输出反馈鲁棒控制器设计 | 第51-54页 |
| ·鲁棒H_∞控制与PID相结合的混合控制方法设计 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第六章 结论与展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |