| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| ·精密定位技术研究意义 | 第12-13页 |
| ·压电陶瓷驱动的微位移工作台关键技术研究现状 | 第13-21页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模技术研究现状 | 第13-14页 |
| ·柔性铰链微位移平台研究现状 | 第14-21页 |
| ·微位移工作台精度控制技术研究现状 | 第21页 |
| ·压电陶瓷驱动的微位移工作台关键技术研究存在的问题 | 第21-22页 |
| ·本论文主要研究内容及创新点 | 第22-25页 |
| ·本论文主要研究内容及技术路线 | 第22-24页 |
| ·本论文的创新点 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动的微位移工作台及其关键技术分析 | 第26-49页 |
| ·前言 | 第26页 |
| ·压电陶瓷驱动的微位移工作台及其关键技术 | 第26-27页 |
| ·基于压电效应的多层压电陶瓷驱动器及其迟滞非线性建模技术 | 第27-44页 |
| ·压电效应 | 第27-28页 |
| ·压电陶瓷驱动器 | 第28-29页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞非线性特性试验研究 | 第29-33页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模技术研究 | 第33-36页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞非线性Preisach建模技术研究 | 第36-44页 |
| ·柔性铰链平行四杆机构分析 | 第44-48页 |
| ·单平行四杆机构分析 | 第45-46页 |
| ·双平行四杆机构分析 | 第46-47页 |
| ·两种平行四杆机构比较 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动器迟滞非线性LS-SVMR与PREISACH混合建模技术研究 | 第49-68页 |
| ·前言 | 第49页 |
| ·机器学习与统计学习理论 | 第49-54页 |
| ·机器学习的基本概念 | 第49-52页 |
| ·统计学习理论 | 第52-54页 |
| ·支持向量机及其回归算法研究 | 第54-59页 |
| ·支持向量机理论分析 | 第54-57页 |
| ·支持向量机回归算法研究 | 第57-59页 |
| ·压电陶瓷驱动器LS-SVMR与PREISACH混合建模技术 | 第59-64页 |
| ·最小二乘支持向量机回归 | 第59-62页 |
| ·压电陶瓷驱动器LS-SVMR与PREISACH混合建模过程 | 第62-64页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模试验 | 第64-67页 |
| ·双线性插值Preisach模型 | 第64页 |
| ·神经网络Preisach模型 | 第64页 |
| ·LS-SVMR与Preisach混合模型 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 无耦合位移低应力复合平行四杆二维微位移平台设计及其动态建模技术研究 | 第68-91页 |
| ·前言 | 第68页 |
| ·复合平行四杆机构设计 | 第68-76页 |
| ·复合平行四杆原理机构设计 | 第68-71页 |
| ·平行四杆机构特性数值仿真 | 第71-76页 |
| ·复合平行四杆微位移平台动态特性分析 | 第76-82页 |
| ·基于拉格朗日等式的动态建模方法研究 | 第76-78页 |
| ·复合平行四杆微位移平台动态模型 | 第78-80页 |
| ·复合平行四杆微位移平台动态特性仿真 | 第80-81页 |
| ·复合平行四杆微位移平台动态特性试验 | 第81-82页 |
| ·二维复合平行四杆微位移平台设计 | 第82-86页 |
| ·微位移平台设计原则 | 第82-83页 |
| ·二维复合平行四杆微位移平台设计 | 第83-84页 |
| ·二维复合平行四杆微位移平台静态特性仿真 | 第84-86页 |
| ·加工因素对微位移平台精度的影响 | 第86-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第五章 压电陶瓷驱动的微位移工作台控制技术研究 | 第91-108页 |
| ·前言 | 第91页 |
| ·输入整形技术研究 | 第91-94页 |
| ·输入整形器基本概念 | 第92-93页 |
| ·基于脉冲响应法的输入整形器的分析与设计 | 第93-94页 |
| ·压电陶瓷驱动的微位移工作台残余振荡消除 | 第94-97页 |
| ·微位移工作台模型建立 | 第95页 |
| ·基于输入整形技术的微位移工作台残余振荡消除 | 第95-97页 |
| ·微位移工作台双前馈开环控制技术研究 | 第97-100页 |
| ·简单定位开环控制 | 第98-99页 |
| ·任意序列的双前馈开环定位控制 | 第99-100页 |
| ·微位移工作台混合闭环控制技术研究 | 第100-107页 |
| ·混合控制器结构 | 第100-104页 |
| ·微位移工作台闭环精度控制 | 第104-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 第六章 压电陶瓷驱动的微位移工作台系统研究 | 第108-115页 |
| ·前言 | 第108页 |
| ·微位移工作台系统设计方案及功能模块 | 第108-110页 |
| ·压电陶瓷驱动的微位移工作台特性试验 | 第110-112页 |
| ·静态特性试验 | 第110页 |
| ·动态特性试验 | 第110-111页 |
| ·控制精度试验 | 第111-112页 |
| ·影响压电陶瓷驱动的微位移工作台精度的因素分析 | 第112-114页 |
| ·原理机构误差 | 第112页 |
| ·测量误差 | 第112-113页 |
| ·环境带来的误差 | 第113页 |
| ·驱动误差 | 第113-114页 |
| ·提高压电陶瓷驱动的微位移工作台精度采取的措施 | 第114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 第七章 总结与展望 | 第115-118页 |
| ·研究总结 | 第115页 |
| ·研究展望 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-127页 |
| 读博期间参加的科研项目和发表的论文 | 第127-128页 |
| 致谢 | 第128页 |
