| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1．1 论文背景 | 第8-9页 |
| 1．2 国内外研究现状 | 第9-15页 |
| 1．3 论文的主要工作及体系结构 | 第15-17页 |
| 2 压电陶瓷执行器基础及迟滞非线性成因分析 | 第17-34页 |
| 2．1 压电陶瓷执行器基础 | 第17-25页 |
| 2．1．1 压电陶瓷的压电机理 | 第17-20页 |
| 2．1．2 压电陶瓷执行器的驱动原理 | 第20-21页 |
| 2．1．3 叠堆型结构及其输出特性 | 第21-23页 |
| 2．1．4 压电体的边界条件及压电方程 | 第23-25页 |
| 2．2 本文所用压电陶瓷执行器的结构形式、边界条件及基本参数 | 第25页 |
| 2．3 压电陶瓷执行器迟滞非线性成因分析 | 第25-32页 |
| 2．3．1 压电陶瓷执行器位移的微观机理 | 第25-27页 |
| 2．3．2 压电陶瓷执行器迟滞非线性成因分析 | 第27-28页 |
| 2．3．2 压电陶瓷执行器迟滞非线性的影响因素分析 | 第28-32页 |
| 2．4 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 二维微动工作台的设计分析 | 第34-42页 |
| 3．1 二维微动工作台原理及其结构 | 第34-35页 |
| 3．2 工作台结构的参数化分析 | 第35-38页 |
| 3．3 微动工作台动力学测试 | 第38-41页 |
| 3．3．1 预紧力对微动工作台系统动静态性能的影响 | 第38-39页 |
| 3．3．2 微动工作台固有频率的测试分析 | 第39-41页 |
| 3．4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 高线性电容位移传感器的研制 | 第42-52页 |
| 4．1 变间隙电容位移传感器原理 | 第42-44页 |
| 4．2 具有固体介质的变间隙电容传感器 | 第44-45页 |
| 4．3 电容位移传感器的设计 | 第45-51页 |
| 4．3．1 非接触式电容位移传感器设计原则 | 第45-46页 |
| 4．3．2 非接触式电容位移传感器原理图 | 第46页 |
| 4．3．3 传感器电路设计 | 第46-51页 |
| 4．3．4 传感器的标定 | 第51页 |
| 4．4 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 压电微动工作台位移复合控制 | 第52-66页 |
| 5．1 基于纳米定位的压电陶瓷执行器控制方法的研究进展 | 第52-55页 |
| 5．1．1 电压驱动开环控制法 | 第52-54页 |
| 5．1．2 电压驱动闭环控制法 | 第54页 |
| 5．1．3 电荷驱动闭环控制法 | 第54页 |
| 5．1．4 压电陶瓷执行器控制算法 | 第54-55页 |
| 5．2 压电陶瓷执行器位移自感知 | 第55-60页 |
| 5．2．1 压电位移与电荷的关系 | 第55-56页 |
| 5．2．2 电压驱动和电流积分器相结合实现压电电荷控制 | 第56-57页 |
| 5．2．3 基于积分器的压电陶瓷执行器位移自感知的实验验证 | 第57-60页 |
| 5．3 压电陶瓷执行器迟滞非线性建模 | 第60-62页 |
| 5．3．1 对压电陶瓷执行器迟滞非线性模型的要求 | 第60页 |
| 5．3．2 压电陶瓷执行器迟滞非线性的性质 | 第60-61页 |
| 5．3．3 基于坐标变换和比例缩放的迟滞非线性模型的建立 | 第61-62页 |
| 5．4 微动工作台位移复合控制 | 第62-64页 |
| 5．4．1 控制方式 | 第62-63页 |
| 5．4．2 基于迟滞非线性模型的前馈和模糊控制相结合的复合控制 | 第63-64页 |
| 5．5 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录A 压电陶瓷执行器照片 | 第71-72页 |
| 附录B 电容位移传感器照片 | 第72-73页 |
| 附录C 二维微动工作台照片 | 第73-74页 |
| 附录D 二维压电微动工作台实验系统照片 | 第74-75页 |
| 附录E 电容位移传感器照片 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第78页 |
