Z轴微机械陀螺的集成设计技术
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·微机械陀螺的研究与发展 | 第8-12页 |
| ·微机械陀螺工作原理 | 第8-9页 |
| ·微机械陀螺国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·Z轴微机械陀螺研究意义 | 第12-13页 |
| ·课题来源及论文研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 Z轴微机械陀螺的结构设计 | 第14-23页 |
| ·微机械陀螺结构方案分析 | 第14-15页 |
| ·Z轴微机械陀螺机械结构设计 | 第15-19页 |
| ·Z轴微机械陀螺敏感结构方案设计 | 第15-18页 |
| ·Z轴微机械陀螺检测梳齿结构设计 | 第18-19页 |
| ·Z轴微机械陀螺反馈电极设计 | 第19页 |
| ·Z轴微机械陀螺解耦结构设计 | 第19-22页 |
| ·Z轴微机械陀螺机械耦合的产生 | 第19-20页 |
| ·Z轴微机械陀螺解耦结构设计 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 Z轴微机械陀螺的系统级设计 | 第23-42页 |
| ·引言 | 第23-25页 |
| ·系统级设计方法 | 第25-33页 |
| ·系统级建模方法 | 第25-26页 |
| ·运动学行为模型 | 第26-28页 |
| ·变间距式偏置梳齿电容器的系统级建模 | 第28-30页 |
| ·变间距式偏置梳齿电容器模型精确性验证 | 第30-33页 |
| ·Z轴微机械陀螺系统级模型与行为分析 | 第33-40页 |
| ·Z轴微机械陀螺系统级频域分析 | 第34-38页 |
| ·Z轴微机械陀螺系统级时域分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 Z轴微机械陀螺的器件级设计 | 第42-55页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·Z轴微机械陀螺三维实体模型造型技术 | 第42-44页 |
| ·Z轴微机械陀螺器件级设计 | 第44-54页 |
| ·电容设计 | 第44-45页 |
| ·谐振频率分析 | 第45-47页 |
| ·刚度分析 | 第47页 |
| ·阻尼分析和品质因数确定 | 第47-53页 |
| ·灵敏度计算 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 Z轴微机械陀螺的工艺级设计 | 第55-69页 |
| ·引言 | 第55-56页 |
| ·Z轴微机械陀螺版图设计 | 第56-61页 |
| ·结构版图的创建技术 | 第56-58页 |
| ·工艺版图的创建 | 第58-61页 |
| ·Z轴微机械陀螺加工工艺设计 | 第61-62页 |
| ·加工工艺设计 | 第61-62页 |
| ·Z轴微机械陀螺工艺几何仿真 | 第62-66页 |
| ·版图文件及工艺文件 | 第63页 |
| ·工艺几何仿真过程 | 第63-66页 |
| ·Z轴微机械陀螺工艺物理仿真 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 Z轴微机械陀螺的加工结果 | 第69-72页 |
| 总结与展望 | 第72-74页 |
| 研究工作总结 | 第72页 |
| 论文创新点 | 第72-73页 |
| 下一步工作展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 硕士期间发表的论文、专利及参与的课题 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 西北工业大学 学位论文知识产权声明书 | 第80页 |
| 西北工业大学 学位论文原创性声明 | 第80页 |
