| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-13页 |
| §1.1 超精密表面及其表面缺陷 | 第6-7页 |
| §1.2 ICF系统中的超精密表面 | 第7-10页 |
| §1.3 本课题论文的主要工作 | 第10-11页 |
| 参考文献 | 第11-13页 |
| 第二章 精密表面评价标准及疵病分析 | 第13-22页 |
| §2.1 光学零件表面疵病标准 | 第13-16页 |
| §2.1.1 国家标准《光学零件表面疵病》 | 第13-14页 |
| §2.1.2 欧洲各国标准概要 | 第14页 |
| §2.1.3 国际标准ISO 10110-7表面疵病公差 | 第14-16页 |
| §2.2 国内外疵病检测方法与分析 | 第16-18页 |
| §2.2.1 目视法 | 第16页 |
| §2.2.2 滤波成像法 | 第16-17页 |
| §2.2.3 角谱分析法 | 第17-18页 |
| §2.2.4 现有检测方法分析 | 第18页 |
| §2.3 疵病形貌分析 | 第18-20页 |
| 参考文献 | 第20-22页 |
| 第三章 大口径元件表面子孔径扫描检测系统的设计 | 第22-36页 |
| §3.1 掠入射成像原理 | 第22-23页 |
| §3.2 整体设计框图 | 第23页 |
| §3.3 总体硬件设计方案分析 | 第23-25页 |
| §3.3.1 照明系统的设计 | 第24-25页 |
| §3.4 图像采集模块 | 第25-31页 |
| §3.4.1 CCD传感器 | 第26-27页 |
| §3.4.2 数字图像采集卡 | 第27-31页 |
| §3.5 子孔径扫描模块 | 第31-35页 |
| §3.5.1 步进电机的工作方式 | 第31-32页 |
| §3.5.2 采用的扫描方式 | 第32-33页 |
| §3.5.2 扫描系统误差分析 | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第四章 数字化检测系统的软件设计 | 第36-57页 |
| §4.1 软件整体设计 | 第36-38页 |
| §4.2 图像的配准和拼接 | 第38-39页 |
| §4.3 图像的匹配 | 第39-48页 |
| §4.3.1 相似度评价函数 | 第40-41页 |
| §4.3.2 模板匹配 | 第41-44页 |
| §4.3.3 基于比值的图像匹配 | 第44-48页 |
| §4.4 图像平滑处理技术 | 第48-52页 |
| §4.5 全孔径拼接 | 第52-53页 |
| §4.6 5×5口径拼接实验结果 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第五章 疵病图像预处理与识别 | 第57-74页 |
| §5.1 图像的预处理 | 第57页 |
| §5.2 数学形态学 | 第57-63页 |
| §5.2.1 二值形态学 | 第58-61页 |
| §5.2.2 灰度形态学 | 第61-63页 |
| §5.3 图像分割 | 第63页 |
| §5.4 特征提取 | 第63-66页 |
| §5.5 划痕的快速近似算法 | 第66-67页 |
| §5.6 标准比对 | 第67-69页 |
| §5.7 特征识别实验结果 | 第69-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| §6.1 总结 | 第74-75页 |
| §6.2 课题展望 | 第75-76页 |
| 硕士在读期间已发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |