| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 1 绪论 | 第13-40页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第13-14页 |
| ·MEMS概述 | 第14-17页 |
| ·压电微型传感器和执行器的研究现状 | 第17-38页 |
| ·压电材料的发展 | 第17-18页 |
| ·压电传感器的研究现状 | 第18-21页 |
| ·微力学量的检测及压电微力传感器的研究现状 | 第21-27页 |
| ·压电执行器的研究现状 | 第27-29页 |
| ·压电电机的国内外研究现状 | 第29-38页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第38-40页 |
| 2 压电双晶梁在微电机上的应用研究 | 第40-70页 |
| ·引言 | 第40-41页 |
| ·压电效应及压电双晶梁的特点 | 第41-47页 |
| ·压电效应及压电方程 | 第41-42页 |
| ·PZT压电陶瓷材料的特性 | 第42-43页 |
| ·压电双晶梁的结构 | 第43-45页 |
| ·压电双晶梁的传感执行模型 | 第45-47页 |
| ·串联弯曲臂的结构及特性 | 第47-55页 |
| ·串联弯曲臂的结构 | 第47页 |
| ·串联弯曲臂的椭圆运动机理研究 | 第47-52页 |
| ·串联弯曲臂椭圆运动测试试验 | 第52-55页 |
| ·串联臂压电微电机的结构设计 | 第55-58页 |
| ·串联弯曲臂压电微电机的结构 | 第55-56页 |
| ·电机部分组件设计及受力分析 | 第56-57页 |
| ·串联臂压电微电机的驱动电源 | 第57-58页 |
| ·串联臂压电微电机样机的制造和性能测试 | 第58-69页 |
| ·单组驱动臂样机制造和性能测试 | 第58-63页 |
| ·双组驱动臂样机制造和性能测试 | 第63-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 3 硅基微型压电双晶梁的制作工艺研究 | 第70-95页 |
| ·引言 | 第70-71页 |
| ·PZT薄膜的制备工艺研究 | 第71-82页 |
| ·PZT薄膜的主要制备方法 | 第71-72页 |
| ·溶胶凝胶法制备PZT薄膜 | 第72-75页 |
| ·PZT薄膜的测试分析 | 第75-82页 |
| ·硅基PZT薄膜微型悬臂的制作工艺研究 | 第82-94页 |
| ·硅基PZT薄膜微型悬臂的结构 | 第82-84页 |
| ·体加工和双面对准 | 第84页 |
| ·硅基PZT薄膜微型悬臂的制作 | 第84-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 4 微型压电双晶梁的动力学计算及在微力测量上的初步研究 | 第95-111页 |
| ·引言 | 第95-96页 |
| ·硅基PZT薄膜微型悬臂的运动学分析 | 第96-102页 |
| ·压电悬臂梁的结构模型 | 第96页 |
| ·中性层的确定 | 第96-99页 |
| ·弯曲振动位移模型 | 第99-100页 |
| ·电荷量的计算 | 第100-101页 |
| ·静态模型 | 第101-102页 |
| ·硅基PZT薄膜微型悬臂结构的有限元计算 | 第102-105页 |
| ·材料参数的选择 | 第102页 |
| ·模型的建立 | 第102-103页 |
| ·静态分析 | 第103-104页 |
| ·模态分析 | 第104-105页 |
| ·压电薄膜悬臂式微力传感器的设计 | 第105-106页 |
| ·微力传感器的标定系统的设计 | 第106-109页 |
| ·静态力学标定 | 第106-107页 |
| ·动态力学标定 | 第107-108页 |
| ·微力传感器标定系统的组成部分 | 第108-109页 |
| ·微力传感器应用的初步设想 | 第109-110页 |
| ·本章小节 | 第110-111页 |
| 5 结论与展望 | 第111-113页 |
| ·全文结论 | 第111-112页 |
| ·后续工作展望 | 第112-113页 |
| 创新点摘要 | 第113-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 作者攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-128页 |