基于底座激励的微器件动态特性测试系统
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·MEMS微器件 | 第8-9页 |
| ·微器件动态特性测试方法 | 第9-18页 |
| ·微器件的激励方法 | 第9-11页 |
| ·国内外 MEMS微器件动态特性测试系统 | 第11-18页 |
| ·本文主要工作 | 第18-20页 |
| 2 压电陶瓷驱动电源的研究 | 第20-32页 |
| ·压电陶瓷特性 | 第20-22页 |
| ·压电陶瓷扫频驱动电源 | 第22-28页 |
| ·电源设计要求 | 第22页 |
| ·大功率运算放大器 MP108FD | 第22-23页 |
| ·硬件电路设计 | 第23-26页 |
| ·扫频驱动电源性能 | 第26-28页 |
| ·压电陶瓷冲击驱动电源 | 第28-31页 |
| ·压电陶瓷冲击电源设计要求 | 第28页 |
| ·硬件电路设计 | 第28-29页 |
| ·压电陶瓷冲击电源特性 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 单片机数据采集与存储系统 | 第32-40页 |
| ·硬件电路设计 | 第32-34页 |
| ·总体设计要求 | 第32页 |
| ·总体设计方案 | 第32-33页 |
| ·实际电路联接 | 第33-34页 |
| ·软件设计 | 第34-38页 |
| ·数据采集和存储过程 | 第34-37页 |
| ·软件编写要点与通信协议 | 第37-38页 |
| ·基本功能 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 微器件动态特性测试系统和相关实验 | 第40-55页 |
| ·测试实验中的微器件基本特征 | 第40-41页 |
| ·压电微悬臂梁仿真计算 | 第41页 |
| ·对比分析法 | 第41-42页 |
| ·微器件冲击响应分析 | 第42-43页 |
| ·微器件动态特性测试系统 | 第43-47页 |
| ·过载加速度对微器件谐振频率的影响 | 第47-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第61页 |
