| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| 1．1 研究意义 | 第13-14页 |
| 1．2 国内外概况 | 第14-18页 |
| 1．3 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 并行共焦测量原理及光路设计 | 第19-32页 |
| 2．1 共焦显微成像技术及两种典型的共焦成像光路 | 第19-20页 |
| 2．2 并行共焦显微成像系统的理论研究 | 第20-21页 |
| 2．3 并行共焦显微成像系统的特性分析 | 第21-23页 |
| 2．3．1 共焦显微成像横向分辨率及测量范围 | 第21-22页 |
| 2．3．2 共焦显微成像纵向分辨率 | 第22-23页 |
| 2．4 并行共焦系统的光路设计及元器件的选择 | 第23-29页 |
| 2．4．1 并行共焦系统的光路结构 | 第23-24页 |
| 2．4．2 微透镜器件的选择 | 第24-25页 |
| 2．4．3 光源的选择 | 第25页 |
| 2．4．4 滤光片的选择 | 第25-26页 |
| 2．4．5 物镜对共焦测量系统的影响及选择计算 | 第26-29页 |
| 2．4．6 微透镜与分束镜之间的距离分析 | 第29页 |
| 2．5 CCD的选择 | 第29-30页 |
| 2．6 系统光路及调整要求 | 第30-32页 |
| 第三章 并行共焦显微镜机械结构设计 | 第32-43页 |
| 3．1 引言 | 第32-33页 |
| 3．2 并行共焦检测装置的基本组成 | 第33-34页 |
| 3．3 光源系统的机械结构设计 | 第34-35页 |
| 3．3．1 光源底座的设计 | 第34页 |
| 3．3．2 准直透镜及微透镜的固定 | 第34-35页 |
| 3．3．3 光源系统的装配调整 | 第35页 |
| 3．4 物镜系统的机械结构设计 | 第35-38页 |
| 3．4．1 物镜镜筒的设计 | 第35-36页 |
| 3．4．2 第二物镜微调机构的设计 | 第36-37页 |
| 3．4．3 物镜系统的装配调整 | 第37-38页 |
| 3．5 摄像系统的机械结构设计 | 第38-39页 |
| 3．6 滤光片的固定 | 第39-40页 |
| 3．7 分束镜的机械结构设计 | 第40-41页 |
| 3．7．1 分束镜的固定 | 第40页 |
| 3．7．2 分束镜调节机构的设计 | 第40-41页 |
| 3．8 光学系统整体装配及调试 | 第41-43页 |
| 第四章 共焦图像预处理和三维信息获取 | 第43-55页 |
| 4．1 引言 | 第43页 |
| 4．2 基于微透镜阵列图像提取光斑点中心坐标的预处理 | 第43-49页 |
| 4．2．1 图像区域划分 | 第43页 |
| 4．2．2 光强变化图像的二值化 | 第43-45页 |
| 4．2．3 二值化图像的滤波 | 第45-47页 |
| 4．2．4 有效采样点中心坐标的提取 | 第47-49页 |
| 4．2．5 采样纵向范围的确定 | 第49页 |
| 4．3 并行共焦系统的三维轮廓提取算法 | 第49-52页 |
| 4．3．1 极值搜索法 | 第50-51页 |
| 4．3．2 线性拟合法 | 第51-52页 |
| 4．4 软件系统编程 | 第52-55页 |
| 第五章 实验结果分析 | 第55-63页 |
| 5．1 不同数值孔径的物镜对系统纵向分辨率的影响实验 | 第55-56页 |
| 5．2 被测面倾斜对测量的影响实验 | 第56-58页 |
| 5．3 阶梯量块高度差测量实验 | 第58-62页 |
| 5．4 印刷电路测量实验 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-64页 |
| 6．1 课题总结 | 第63页 |
| 6．2 课题展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第67页 |