微机械中静电梳齿结构的静动力学研究
| 独创性(或创新性)声明 | 第1页 |
| 关于论文使用授权的说明 | 第2-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·MEMS 技术的发展 | 第7-10页 |
| ·MEMS 的发展现状 | 第7-9页 |
| ·MEMS 的发展动力 | 第9-10页 |
| ·MEMS 技术的基础研究内容和特点 | 第10-13页 |
| ·理论基础研究 | 第10-11页 |
| ·技术基础研究 | 第11-12页 |
| ·MEMS 技术的特点 | 第12-13页 |
| ·MEMS 技术的应用和展望 | 第13-15页 |
| ·MEMS 技术的应用 | 第13-14页 |
| ·MEMS 技术的展望 | 第14-15页 |
| ·本论文研究的内容 | 第15-17页 |
| 第二章 静电梳齿结构 | 第17-25页 |
| ·静电梳齿结构的特点 | 第17-18页 |
| ·静电梳齿结构的工作原理 | 第18-23页 |
| ·静电梳齿驱动的工作原理 | 第18-20页 |
| ·静电梳齿传感的工作原理 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 静电梳齿结构的模型与分析 | 第25-47页 |
| ·静力学分析 | 第25-30页 |
| ·等效模型 | 第25-29页 |
| ·静电力和位移 | 第29-30页 |
| ·无阻尼条件下的动力学分析 | 第30-37页 |
| ·振动方程 | 第30-32页 |
| ·固有频率计算方法 | 第32-36页 |
| ·模态分析 | 第36-37页 |
| ·无阻尼条件下的动态响应分析 | 第37-39页 |
| ·振型函数正则化 | 第37-38页 |
| ·振动的响应 | 第38-39页 |
| ·有阻尼条件下的动态响应分析 | 第39-45页 |
| ·阻尼分析 | 第39-41页 |
| ·振动方程 | 第41-44页 |
| ·振动的响应 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 静电梳齿结构的有限元分析 | 第47-53页 |
| ·有限元分析方法及软件 | 第47-48页 |
| ·静电梳齿驱动结构的有限元分析 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 尺度效应分析 | 第53-59页 |
| ·尺度效应的内涵及研究意义 | 第53-54页 |
| ·尺度效应的内涵 | 第53-54页 |
| ·研究尺度效应的意义 | 第54页 |
| ·尺度效应的分析方法 | 第54-56页 |
| ·静电梳齿结构的尺度效应分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 结束语 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 研究成果 | 第65页 |
