差分式硅微机械陀螺的结构设计及闭环驱动研究

1. 绪论	第1-20页
·陀螺发展概述	第8-10页
·微机械陀螺研究现状	第10-18页
·微机械陀螺的分类	第10-11页
·振动式微机械陀螺发展现状	第11-18页
·论文研究背景及研究目的	第18-19页
·论文研究背景	第18页
·论文研究目的	第18-19页
·论文内容安排	第19-20页
2. 差分式硅微机械陀螺结构设计基础	第20-34页
·电容器驱动方法研究	第20-25页
·电容器结构研究	第20-25页
·梳状叉指电容器	第21-23页
·差动平行板电容器	第23-24页
·平行板电容器与梳状叉指电容器的比较	第24-25页
·微结构支撑系统的研究	第25-33页
·小结	第33-34页
3. 差分式硅微机械陀螺的结构设计及仿真验证	第34-60页
·差分式硅微机械陀螺结构设计理论基础	第34-38页
·差分式硅微机械陀螺	第38-58页
·差分式硅微机械陀螺结构及工作原理	第38-40页
·差分式硅微机械陀螺高灵敏度分析	第40-52页
·差分式硅微机械陀螺灵敏度理论分析	第43-46页
·差分式硅微机械陀螺灵敏度仿真验证	第46-50页
·陀螺基本结构参数确定	第50-52页
·差分式硅微机械陀螺宽带宽分析	第52-58页
·本章小节	第58-60页
4. 差分式硅微机械陀螺工艺及版图设计	第60-74页
·硅微机械陀螺主要加工工艺介绍	第61-62页
·硅微机械陀螺工艺设计及加工流程	第62-70页
·硅片工艺	第63-66页
·玻璃片工艺	第66-68页
·组合片工艺	第68-70页
·版图设计说明	第70-73页
·差分式硅微机械陀螺版图设计	第70-73页
·本章小结	第73-74页
5. 差分式硅微机械陀螺闭环驱动研究	第74-79页
·上电闭环自振荡的基本原理	第75-77页
·直流自动增益控制的闭环驱动研究	第77-78页
·本章小结	第78-79页
结论	第79-82页
参考文献	第82-88页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第88-89页
致谢	第89页