| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·电子器件芯片的热控制重要性 | 第8-10页 |
| ·电子器件芯片的发展趋势 | 第8页 |
| ·电子器件芯片的耗能与散热问题 | 第8-10页 |
| ·电子器件芯片的冷却技术及其发展趋势 | 第10-14页 |
| ·芯片冷却技术 | 第10-12页 |
| ·芯片冷却技术的发展趋势 | 第12-13页 |
| ·微液滴冲击冷却的国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·课题简介 | 第14-16页 |
| ·微介电液滴冲击冷却系统的工作原理 | 第14-15页 |
| ·微介电液体冲击冷却系统的优点 | 第15-16页 |
| ·课题研究主要内容 | 第16页 |
| ·本章小节 | 第16-17页 |
| 第二章 芯片表面沸腾换热理论 | 第17-23页 |
| ·沸腾换热的定义及分类 | 第17页 |
| ·汽泡核化 | 第17-19页 |
| ·表面起泡过程分析 | 第18-19页 |
| ·汽泡成长、跃离和运动的基本过程及其特点 | 第19-22页 |
| ·运动过程的周期性 | 第19-20页 |
| ·成长过程的阶段性 | 第20-21页 |
| ·复杂性及多变性 | 第21页 |
| ·加热表面汽泡成长过程的特点 | 第21-22页 |
| ·本章小节 | 第22-23页 |
| 第三章 液体驱动微型泵设计及其建模分析 | 第23-45页 |
| ·简介 | 第23-25页 |
| ·微型泵的分类 | 第23页 |
| ·静电微型泵与其它驱动方式微型泵的比较 | 第23-24页 |
| ·静电微型泵的工作原理 | 第24-25页 |
| ·静电微型泵的设计 | 第25-28页 |
| ·材料的选择 | 第25页 |
| ·结构与制作工艺 | 第25-27页 |
| ·静电双腔无阀微型泵的优点 | 第27-28页 |
| ·微型泵泵膜的静电—结构分析 | 第28-38页 |
| ·静电微泵膜的基础理论分析 | 第28-31页 |
| ·微型泵膜静电—结构有限元分析 | 第31-32页 |
| ·静电驱动微泵泵膜的有限元建模 | 第32页 |
| ·分析与讨论 | 第32-38页 |
| ·微泵的流体分析 | 第38-44页 |
| ·微泵的流量理论分析 | 第38-42页 |
| ·微泵腔流场有限元分析 | 第42-44页 |
| ·本章小节 | 第44-45页 |
| 第四章 微液滴发生器压电微喷嘴阵列的设计及其建模分析 | 第45-68页 |
| ·微液滴发生器简介 | 第45-47页 |
| ·压电微喷嘴 | 第45-46页 |
| ·压电微喷嘴的工作原理 | 第46-47页 |
| ·压电驱动微喷嘴阵列的设计 | 第47-53页 |
| ·驱动薄板的设计 | 第47-48页 |
| ·腔体及底盘的设计 | 第48页 |
| ·尺寸设计 | 第48-52页 |
| ·制备工艺 | 第52-53页 |
| ·压电微喷嘴薄膜的压电—结构分析 | 第53-65页 |
| ·方形复合薄板的模型假设 | 第53-54页 |
| ·方形复合薄板形变分析 | 第54-58页 |
| ·压电—结构有限元分析 | 第58-65页 |
| ·微喷嘴阵列的流体分析 | 第65-67页 |
| ·模型的简化 | 第65页 |
| ·模型的建立 | 第65-66页 |
| ·后处理分析 | 第66-67页 |
| ·本章小节 | 第67-68页 |
| 第五章 基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统实验平台的设计及冲击冷却模型的建立 | 第68-81页 |
| ·基于MEMS的微介电液滴冲击冷却系统实验平台设计 | 第68-72页 |
| ·微液滴冲击冷却系统实验平台的框架设计 | 第68-70页 |
| ·微液滴冲击冷却系统实验平台控制系统的设计 | 第70-71页 |
| ·实验方案的拟定 | 第71-72页 |
| ·微液滴冲击冷却系统的冷却模型 | 第72-80页 |
| ·完全核态沸腾模型 | 第72-76页 |
| ·稳定膜态沸腾模型 | 第76-80页 |
| ·本章小节 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| ·总结 | 第81页 |
| ·展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 附录 | 第88页 |
