单芯片集成加速度计陀螺仪设计研究
| 第一章 绪论 | 第1-24页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·微机械惯性传感器研究进展 | 第10-20页 |
| ·微机械加速度计 | 第11-14页 |
| ·微机械陀螺仪 | 第14-17页 |
| ·微型惯性测量单元(MIMU) | 第17-18页 |
| ·微机械惯性传感器的单芯片集成技术 | 第18-20页 |
| ·微机械加速度计陀螺仪及其研究的目的和意义 | 第20-21页 |
| ·论文的组织和安排 | 第21-24页 |
| 第二章 加速度计陀螺仪设计理论基础 | 第24-41页 |
| ·微机械惯性传感器工作原理 | 第24-32页 |
| ·运动参考系和惯性力 | 第24-26页 |
| ·加速度计的敏感原理及数学模型 | 第26-27页 |
| ·陀螺仪的敏感原理及数学模型 | 第27-30页 |
| ·模态匹配 | 第30-32页 |
| ·弹性体结构设计理论基础 | 第32-37页 |
| ·结构有限元分析 | 第32-33页 |
| ·悬臂梁刚度矩阵分析 | 第33-37页 |
| ·微小电容检测 | 第37-41页 |
| ·差分电容变换器工作原理简介 | 第37-39页 |
| ·差分电容变换器特性分析 | 第39-41页 |
| 第三章 结构设计及动力学分析 | 第41-51页 |
| ·加速度计陀螺仪结构设计 | 第41-43页 |
| ·硅微结构设计准则 | 第41页 |
| ·结构设计及工作原理分析 | 第41-43页 |
| ·加速度计陀螺仪动力学分析 | 第43-51页 |
| ·角速度响应分析 | 第44-47页 |
| ·恒定角速度输入下的响应 | 第44-46页 |
| ·交变角速率输入情况下的响应 | 第46页 |
| ·大角速率信号输入情况下的响应 | 第46-47页 |
| ·加速度响应分析 | 第47-49页 |
| ·恒定加速度输入情况下的响应特性分析 | 第47-48页 |
| ·交变加速度输入情况下的响应特性分析 | 第48-49页 |
| ·瞬态响应特性分析 | 第49页 |
| ·加速度与角速度同时输入条件下的响应特性分析 | 第49-51页 |
| 第四章 结构的耦合和误差模型分析 | 第51-72页 |
| ·系统固有耦合误差模型分析 | 第51-55页 |
| ·陀螺检测模态对驱动模态的耦合 | 第51-52页 |
| ·线加速度输入对角速度输入的影响 | 第52页 |
| ·非敏感方向上的角速度输入的影响 | 第52-55页 |
| ·系统工艺及安装耦合误差模型分析 | 第55-63页 |
| ·加速度计陀螺仪工艺及安装耦合误差模型分析 | 第55-61页 |
| ·结构安装精度的耦合误差模型分析 | 第61-63页 |
| ·空气阻尼的影响 | 第63-69页 |
| ·结构信息解耦方法研究 | 第69-71页 |
| ·本章小节 | 第71-72页 |
| 第五章 加速度计陀螺仪的结构仿真分析及优化设计 | 第72-89页 |
| ·折叠梁的仿真分析及尺寸优化 | 第72-81页 |
| ·折叠梁刚度系数的矩阵法求解 | 第72-73页 |
| ·折叠梁的尺寸对结构各阶模态的谐振频率的影响 | 第73-79页 |
| ·结构强度分析 | 第79-81页 |
| ·加速度计陀螺仪的力电耦合仿真分析 | 第81-86页 |
| ·静电力分析 | 第81-82页 |
| ·驱动电容仿真分析 | 第82-84页 |
| ·检测电容仿真分析 | 第84-86页 |
| ·结构振动模态分析 | 第86-89页 |
| 第六章 加速度计陀螺仪工艺及测试系统 | 第89-98页 |
| ·微机械加速度计陀螺仪的工艺流程及版图设计 | 第89-92页 |
| ·加工所需工艺 | 第89-91页 |
| ·加速度计陀螺仪工艺流程 | 第91-92页 |
| ·版图设计 | 第92-96页 |
| ·版图设计规则 | 第92-93页 |
| ·版图设计说明 | 第93-96页 |
| ·微机械加速度计陀螺仪测试系统设计 | 第96-98页 |
| ·驱动电路设计 | 第96页 |
| ·微小电容检测电路设计 | 第96-98页 |
| 结论及展望 | 第98-101页 |
| 参考文献 | 第101-107页 |
| 致谢 | 第107页 |
