MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·MEMS CAD概述 | 第7-9页 |
| ·MEMS工艺级设计工具的国内外研究现状 | 第9-15页 |
| ·MEMS工艺集成化设计的国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀模拟工具的国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·论文研究的目的与意义 | 第15页 |
| ·课题来源及本论文的研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 MEMS工艺集成化设计 | 第17-33页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·工艺集成化设计的概念与内容 | 第17-19页 |
| ·工艺集成化设计的体系结构 | 第19-28页 |
| ·数据库支持 | 第19-22页 |
| ·版图与工艺流程 | 第22-26页 |
| ·工艺几何仿真 | 第26-27页 |
| ·工艺物理模拟 | 第27页 |
| ·数据转换接口 | 第27-28页 |
| ·工艺集成化设计流程 | 第28-32页 |
| ·基于版图的工艺集成化设计 | 第29-30页 |
| ·基于三维实体的工艺集成化设计 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 单晶硅各向异性腐蚀建模与模拟 | 第33-61页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·单晶硅的微观结构 | 第34-37页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀速率的影响因素 | 第37-41页 |
| ·晶面取向对瘸蚀速率的影响 | 第37-39页 |
| ·腐蚀剂浓度对腐蚀速率的影响 | 第39-40页 |
| ·温度对腐蚀速率的影响 | 第40-41页 |
| ·各向异性腐蚀机理 | 第41-44页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀的腐蚀剂 | 第41页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀机理 | 第41-44页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀建模 | 第44-51页 |
| ·现有模型优缺点的比较 | 第44-46页 |
| ·基于动态CA算法的各向异性腐蚀模型 | 第46-51页 |
| ·模拟算法 | 第51-55页 |
| ·各向异性腐蚀模拟过程 | 第55-59页 |
| ·模拟结果与分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 MEMS工艺集成化设计的典型器件验证 | 第61-75页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·基于版图的Z轴微机械陀螺工艺集成化设计流程 | 第61-71页 |
| ·版图设计 | 第61-64页 |
| ·工艺流程设计 | 第64-67页 |
| ·工艺几何仿真 | 第67-70页 |
| ·工艺物理模拟 | 第70-71页 |
| ·基于三维实体的Z轴微机械陀螺工艺集成化设计 | 第71-73页 |
| ·陀螺结构三维实体造型 | 第71-72页 |
| ·陀螺结构层三维实体到二维版图的转换 | 第72-73页 |
| ·Z轴微机械陀螺加工结果 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结束语 | 第75-78页 |
| 总结 | 第75-76页 |
| 展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 研究生期间发表的论文与申请专利 | 第81页 |
| 参加科研项目情况 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 西北工业大学 学位论文知识产权声明书 | 第83页 |
| 西北工业大学 学位论文原创性声明 | 第83页 |
